[发明专利]固态摄像装置及其制造方法

说明书

[问题]提供一种能够最小化由透镜之间的沟槽引起的图像质量降低的固态摄像装置和该固态摄像装置的制造方法。[方案]根据本发明的固态摄像装置设置有多个光电转换部和设置在所述多个光电转换部上方的多个透镜。所述多个透镜各自包括设置在所述透镜之间的沟槽。所述沟槽包括成形为向下突出的底面。

技术领域

本公开涉及固态摄像装置和制造该固态摄像装置的方法。

背景技术

为了防止固态摄像装置的像素之间的颜色混合，可以在相邻的片上透镜之间分别设置沟槽。这使得能够抑制入射到一个像素的片上透镜的光进入到另一个像素的片上透镜上，否则将导致颜色混合。

引用列表

专利文献

专利文献1：日本专利申请特开第2008-270679号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

然而，由于在相邻的片上透镜之间设置有沟槽，光可能从沟槽入射到遮光膜等上，从而降低了固态摄像装置的图像质量。

因此，本公开提供了一种能够抑制由透镜之间的沟槽引起的图像质量的降低的固态摄像装置，并且还提供了该固态摄像装置的制造方法。

技术问题的解决方案

根据本公开的第一方面的固态摄像装置包括多个光电转换部和设置在所述多个光电转换部上方的多个透镜。所述多个透镜各自包括设置在所述透镜之间的沟槽，并且所述沟槽包括成形为向下突出的底面。因此，成形为向下突出的底面能够抑制由所述透镜之间的所述沟槽引起的图像质量的降低。

此外，在第一方面中，所述沟槽可以包括夹在相邻的两个透镜之间的第一部分和夹在相邻的四个透镜之间的第二部分，并且所述第二部分的下端可以位于比所述第一部分的下端低的位置处。这使得在相邻的两个透镜之间设置线性平面形状的沟槽，同时使得在相邻的四个透镜之间能够设置点状平面形状的沟槽。

此外，根据第一方面的固态摄像装置还可以包括设置在所述第一部分和所述第二部分下方的遮光膜。在这种情况下，具有成形为向下突出的所述底面的沟槽可以抑制由从所述沟槽入射到所述遮光膜上的光引起的固态摄像装置的图像质量的降低。

此外，在第一方面中，所述沟槽的上端可以是所述透镜的表面的曲率的拐点。这使得例如能够通过蚀刻形成所述沟槽。

此外，在第一方面中，所述沟槽的底面的纵截面可以成形为类似半圆形、三角形或梯形。这使得所述沟槽的底面能够成形为向下突出。

此外，在第一方面中，所述沟槽的底面的垂直端面可以成形为相对于所述沟槽的所述纵截面的中心线对称。例如，这使得光能够被所述沟槽的底面均匀地引导朝向所述沟槽周围的多个滤色器。

此外，在第一方面中，所述沟槽在某一高度处的宽度可以随所述高度变低而变窄。例如，这使得光能够被所述沟槽引导朝向所述滤色器而不是朝向所述遮光膜。

此外，在第一方面中，所述沟槽的表面可以包括曲率的拐点，所述拐点位于比所述沟槽的上端低但比所述沟槽的下端高的位置处。例如，这能够增加所述沟槽的形状的自由度。

此外，在第一方面中，对于所述沟槽的表面的倾斜角，所述上端与所述拐点之间的角度可以小于所述拐点与所述下端之间的角度。例如，这使得所述沟槽的所述纵截面形状拉长。

此外，在第一方面中，在所述上端和所述拐点之间，所述沟槽的表面的倾斜角可以小于30度。这使得减小所述沟槽的前表面与所述透镜的前表面的比率，能够抑制由所述沟槽引起的所述透镜的聚光率的降低。

此外，在第一方面中，在所述拐点和所述下端之间，所述沟槽的表面的倾斜角可以小于90度。这使得所述沟槽的所述下端附近的聚光率增加，并且还能够抑制由所述沟槽的下端附近的光引起的颜色混合。