[发明专利]固态摄像装置及其制造方法

权利要求书

1.一种固态摄像装置，包括：

多个光电转换部；和

多个透镜，所述多个透镜设置在所述多个光电转换部的上方，其中，

所述多个透镜各自包括设置在所述透镜之间的沟槽，并且

所述沟槽包括成形为向下突出的底面。

2.根据权利要求1所述的固态摄像装置，其中，

所述沟槽包括夹在相邻的两个透镜之间的第一部分和夹在相邻的四个透镜之间的第二部分，并且

所述第二部分的下端位于比所述第一部分的下端低的位置处。

3.根据权利要求2所述的固态摄像装置，还包括：

设置在所述第一部分和所述第二部分下方的遮光膜。

4.根据权利要求1所述的固态摄像装置，其中，

所述沟槽的上端是所述透镜的表面的曲率的拐点。

5.根据权利要求1所述的固态摄像装置，其中，

所述沟槽的所述底面的纵截面成形为半圆形、三角形或梯形。

6.根据权利要求1所述的固态摄像装置，其中，

所述沟槽的所述底面的垂直端面成形为相对于所述沟槽的纵截面的中心线对称。

7.根据权利要求1所述的固态摄像装置，其中，

所述沟槽在某一高度处的宽度随所述高度变低而变窄。

8.根据权利要求1所述的固态摄像装置，其中，

所述沟槽的表面包括曲率的拐点，所述拐点位于比所述沟槽的上端低但比所述沟槽的下端高的位置处。

9.根据权利要求8所述的固态摄像装置，其中，

对于所述沟槽的所述表面的倾斜角，所述上端与所述拐点之间的角度小于所述拐点与所述下端之间的角度。

10.根据权利要求9所述的固态摄像装置，其中，

在所述上端和所述拐点之间，所述沟槽的所述表面的倾斜角小于30度。

11.根据权利要求9所述的固态摄像装置，其中，

在所述拐点和所述下端之间，所述沟槽的所述表面的倾斜角小于90度。

12.根据权利要求2所述的固态摄像装置，还包括：

多个滤色器，其设置在所述多个光电转换部和所述多个透镜之间，其中，

所述第二部分的宽度等于或大于所述滤色器之间的距离，并且

所述第二部分的所述下端的高度高于所述滤色器的上表面的高度。

13.根据权利要求1所述的固态摄像装置，还包括：

设置在所述透镜的上表面上的抗反射膜。

14.根据权利要求13所述的固态摄像装置，其中，

所述抗反射膜还设置在所述沟槽的表面上。

15.根据权利要求1所述的固态摄像装置，还包括：

设置在所述沟槽中并且具有比所述透镜低的折射率的第一膜。

16.根据权利要求15所述的固态摄像装置，其中，

所述第一膜还设置在所述透镜的上表面上。

17.根据权利要求1所述的固态摄像装置，还包括：

第一膜，其设置在所述透镜的上表面上；和

第二膜，其设置在所述沟槽中并且具有比所述透镜低的折射率。

18.根据权利要求17所述的固态摄像装置，其中，

所述第二膜具有比所述第一膜低的折射率。