[发明专利]压电装置

说明书

压电装置(100)包括外侧基部(110)、突出基部(120)以及仅一个悬臂梁部(130)。突出基部(120)具有突出部(121)和顶端部(122)。突出部(121)从外侧基部(110)的内周面(111)朝向环状的中央(C)突出。顶端部(122)连接于突出部(121)且位于上述中央(C)。悬臂梁部(130)连接于顶端部(122)，与突出部(121)分开且伸出。悬臂梁部(130)具有固定端部(131)和自由周端部(132)。固定端部(131)连接于顶端部(122)。自由周端部(132)位于沿着内周面(111)的位置。突出部(121)位于自由周端部(132)的一端(132a)与另一端(132b)之间。

技术领域

本发明涉及一种压电装置。

背景技术

作为公开了压电装置的结构的文献，有日本特表2014-515214号公报(专利文献1)、美国发明专利5633552号说明书(专利文献2)以及日本特开2017-041824号公报(专利文献3)。

专利文献1所记载的压电装置是MEMS换能器，包括基板和多个悬臂梁。各悬臂梁顶端尖细，彼此相邻。各悬臂梁规定梁基端部、梁顶端部以及梁主体部。梁主体部配置于梁基端部与梁顶端部之间。各悬臂梁以各梁顶端部朝向共同的假想点延伸的方式配置。各悬臂梁沿着梁基端部与基板结合，并未沿着梁主体部与基板结合。

专利文献2所记载的压电装置是微机械装置，包括框架和至少一个悬臂构造。框架具有开口部。悬臂构造在开口部的周围的局部的范围安装于框架。悬臂构造覆盖开口部的大部分。悬臂构造包含三个子层。三个子层具有第1子层、第2子层以及第3子层。第2子层与第1子层和第3子层相邻。第1子层和第3子层实质上由相同的第1材料形成，具有大致相同的平均应力。第2子层由第2材料形成，具有最小应力和最大应力。最大应力与最小应力的差比第1子层的平均应力的大小小。开口部也可以是正方形。

专利文献3所记载的压电装置是检测经由空气传输的弹性波的检测装置，具有悬臂构造。悬臂构造具有固定端和自由端。悬臂构造包括第1电极和第2电极。第1电极为板状，在弹性波的作用下弯曲，从而振动。第2电极为板状，与第1电极隔开预定的距离而相对。悬臂构造基于第1电极与第2电极之间的静电容量的变化而检测弹性波。第2电极的从固定端朝向自由端的方向上的端位于距固定端侧的距离比距自由端侧的距离近的位置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2014-515214号公报

专利文献2：美国发明专利5633552号说明书

专利文献3：日本特开2017-041824号公报

发明内容

发明要解决的问题

在专利文献1所记载的压电装置中，包括多个悬臂梁。在压电装置驱动时，有时上述多个悬臂梁分别以彼此不同的相位振动。在该情况下，压电装置的装置特性反而降低。专利文献2和专利文献3分别所记载的压电装置包括一个悬臂构造即悬臂梁部。然而，对于仅具有一个梁部的压电装置而言，与具有多个梁部的压电装置相比，推出梁部周边的介质的力较小，因此装置特性较低。

于是，在仅具有一个梁部的压电装置中，考虑通过增大从梁部的振动的方向观察梁部时的梁部的面积来增大在施加预定的大小的电压时被梁部推出的梁部周边的介质的体积，提高装置特性。然而，有时由于增大梁部的上述面积而导致梁部所具有的固有的谐振频率降低。

本发明是鉴于上述的问题点而完成的，其目的在于，提供一种能够抑制梁部的谐振频率的变化且提高装置特性的压电装置。

用于解决问题的方案