[发明专利]压电装置

权利要求书

1.一种压电装置，其中，

该压电装置包括：

环状的外侧基部，其具有内周面；

突出基部，其具有从所述外侧基部的所述内周面朝向所述环状的中央突出的突出部和连接于所述突出部且位于所述中央的顶端部；以及

仅一个悬臂梁部，其连接于所述顶端部，与所述突出部分开且伸出，

所述悬臂梁部包含：压电体层；第1电极层，其配置于该压电体层的一侧；以及第2电极层，其以隔着所述压电体层而与所述第1电极层的至少局部相对的方式配置，

所述悬臂梁部具有连接于所述顶端部的固定端部和位于沿着所述内周面的位置的自由周端部，

所述突出部位于所述自由周端部的一端与另一端之间。

2.根据权利要求1所述的压电装置，其中，

在所述自由周端部的整体的范围从所述固定端部到所述自由周端部的最短距离恒定。

3.根据权利要求1或2所述的压电装置，其中，

所述顶端部的与所述突出部的突出方向正交的正交方向上的宽度尺寸比所述突出部的所述正交方向上的宽度尺寸大。

4.根据权利要求1或2所述的压电装置，其中，

所述突出部的与所述突出部的突出方向正交的正交方向上的宽度尺寸随着靠近所述外侧基部而变大。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的压电装置，其中，

在所述内周面的中心轴线的轴向上，所述突出基部的厚度比所述外侧基部的厚度薄。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的压电装置，其中，

在从所述内周面的中心轴线的轴向观察时，所述第1电极层与所述第2电极层相对的相对区域的面积是所述悬臂梁部的面积的90％以上。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的压电装置，其中，

所述压电体层由铌酸锂(LiNbO₃)或钽酸锂(LiTaO₃)构成。