[发明专利]使用反馈和前馈控制的纳米压印光刻中的对准控制

权利要求书

1.一种控制可移动的台架的位置的方法，所述可移动的台架使基板被支撑在其上，所述方法包括：

从传感器获得表示相对于物体上的标记的基板的位置的第一位置信息；

基于所获得的第一位置来生成对准预测信息，所生成的对准预测信息包括至少一个参数值；

基于所获得的第一位置信息和所生成的对准预测信息来生成包括所述至少一个参数值的第一轨迹信息；

基于所生成的对准预测信息、第一轨迹信息和第二位置信息来生成第二轨迹信息，其中，第二位置信息表示可移动的台架的位置；

基于第二轨迹信息来生成输出控制信号；以及

基于所生成的输出信号来控制可移动的台架接近目标位置。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括：

确定基于所述传感器表示根据第二轨迹信息移动的相对于物体上的标记的基板的位置的误差值；以及

基于所述误差值在预定范围内来生成更新的输出控制信号；以及

基于更新的输出控制信号来控制可移动的台架接近目标位置。

3.根据权利要求1所述的方法，还包括：

基于在可移动的台架已根据输出控制信号移动之后由图像捕获设备获得的更新的第一位置信息来更新对准预测信息和包括在对准预测信息中的所述至少一个参数值。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，对准预测信息是第一前馈信号，并且所生成的第一轨迹信息是通过获得所获得的第一位置信息与所述前馈对准预测信息之间的差值而生成的第一反馈信号。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，所生成的第二轨迹信息是第二反馈信号。

6.根据权利要求1所述的方法，还包括：

响应于确定基于所述传感器表示在对准预测信息的结束位置处相对于物体上的标记的基板的位置的误差值在预定范围之外，生成包括更新的至少一个参数值的新的对准预测信息，所述更新的至少一个参数值是基于更新的第一位置信息而确定的；以及

调整在所述生成时使用的一个或多个控制项：对准预测信息；第一轨迹信息；以及第二轨迹信息；以及

将新的对准预测信息与第二轨迹信息组合，以生成更新的输出控制信号；以及

基于更新的输出控制信号来控制可移动的台架。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，输出控制信号还基于第三前馈控制信号与第二轨迹信息的组合。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述至少一个参数包括(a)期望的位置值、(b)期望的速度值、(c)期望的加速度值、(d)期望的旋转值和(e)用于启动所述台架沿着确定的轨迹移动的期望的开始时间中的一个或多个。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，对准预测信息包括：第一前馈控制信号；第二前馈控制信号；以及第三前馈控制信号；

其中，第一轨迹信息的生成还基于第一前馈控制信号；

其中，第二轨迹信息的生成还基于第二前馈控制信号；

其中，输出控制信号的生成还基于第三前馈控制信号。

10.根据权利要求1所述的方法，其中，前馈控制组由所述第一前馈控制信号；所述第二前馈控制信号；以及所述第三前馈控制信号组成；以及

其中，前馈控制组中的控制信号中的至少一个是基于前馈控制组中的其他控制信号中的一个或两个。