[发明专利]真空泵以及水冷衬垫

说明书

提供一种能够防止内装部件的破坏引起的、作为外装体的一部件的水冷衬垫的破损的真空泵（P1）。真空泵具备：具有吸气口（1A）的外装体（1）、立设于外装体的内部的定子柱（3）、包围定子柱的外周的形状的旋转体（4），利用旋转体的旋转从吸气口对气体进行吸气，其中，外装体由包含在内部配设有水冷管（21）的水冷衬垫（20）的多个部件构成，水冷衬垫由作为机械性材料特性具有5％以上的延伸率的铝合金的铸造件构成。

技术领域

本发明涉及真空泵以及用于真空泵的水冷衬垫。

背景技术

作为本技术领域的背景技术，例如专利文献1中记载了“真空泵具备：具有吸气口的外装体、立设于外装体的内部的定子柱、包围定子柱的外周的形状的旋转体、能够旋转地支承旋转体的支承机构、旋转驱动旋转体的驱动机构，利用旋转体的旋转从吸气口将气体吸入，其中，定子柱由作为机械材料特性具有5％以上的延伸率的铝合金的铸造件构成（参照摘要）。

根据该专利文献1，由具有5％以上的延伸率的铝合金的铸造件构成定子柱，所以万一旋转体的破坏能量作用于定子柱时，也能够利用定子柱的延伸而充分地吸收这样的破坏能量，能够防止破坏能量导致的定子柱的龟裂、定子柱的破损导致的破片从吸气口飞出等的不良。

【专利文献1】日本特开2018－96336号公报。

本发明所要解决的课题

但是，在真空泵中，有时采用利用作为其外装体的一部件的水冷衬垫来冷却内装部件的结构。此外，构成为在那样的水冷衬垫中在内部埋设有水冷管，利用在水冷管中流动的水来冷却真空泵的内装部件。该结构时，首先必须要避免由于旋转体的破坏能量而产生的真空泵的内装部件的破片等向比外装体还外侧飞出。此外，还存在该破片作用于作为外装体的一部件的水冷衬垫而水冷管破损的可能性。例如，当水冷管产生龟裂时，存在使用真空泵的半导体制造装置等浸水而发生故障的危险。因而，当作为真空泵的外装体的一部件而使用水冷衬垫时，该水冷衬垫要求更高的可靠性。但是，专利文献1中，对于防止内装部件的破坏引起的水冷衬垫的破损的技术没有任何提及，存在改良的余地。

发明内容

本发明鉴于上述情况而提出，其主要目的在于提供一种能够防止内装部件的破坏引起的作为外装体的一部件的水冷衬垫的破损的真空泵。

为了实现上述目的，本发明的一方式为真空泵，具备：具有吸气口的外装体、立设于前述外装体的内部的定子柱、包围前述定子柱的外周的形状的旋转体，利用前述旋转体的旋转而从前述吸气口吸入气体，其特征在于，前述外装体由包含在内部配设有水冷管的水冷衬垫的多个部件构成，前述水冷衬垫由作为机械性材料特性而具有5％以上的延伸率的铝合金的铸造件构成。

此外，上述结构中，前述外装体也可以构成为包含在其轴方向中位于基端侧的基座、位于末端侧的壳、位于前述基座以及前述壳之间的前述水冷衬垫。

此外，上述结构中，也可以构成为在前述旋转体中多级地配设多个动翼，在前述壳内内以与前述多个动翼对置的方式多基地配设多个固定翼，前述水冷衬垫与前述多个固定翼的至少一个直接或者间接地热接触。

此外，上述结构中，也可以构成为在前述外装体的内部配设有用于对从前述吸气口吸气的气体进行加热的加热衬垫，前述加热衬垫位于前述旋转体与前述水冷衬垫之间。

此外，上述结构中，也可以构成为在前述加热衬垫的内周面作用真空压，在前述加热衬垫的外周面以及前述水冷衬垫的内周面作用大气压，在前述水冷衬垫的外周面作用大气压。

此外，上述结构中，也可以构成为前述水冷衬垫在前述外装体的轴方向中的基端侧，进行了前述外装体的径方向的定位，在前述水冷衬垫与前述加热衬垫的至少末端侧，在前述外装体的径方向中形成有间隙。