[发明专利]真空泵以及水冷衬垫

权利要求书

1.一种真空泵，具备：具有吸气口的外装体、立设于前述外装体的内部的定子柱、包围前述定子柱的外周的形状的旋转体，利用前述旋转体的旋转而从前述吸气口吸入气体，

其特征在于，

前述外装体由包含水冷衬垫的多个部件构成，所述水冷衬垫在内部配设有水冷管，

前述水冷衬垫由作为机械性材料特性而具有5％以上的延伸率的铝合金的铸造件构成。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述外装体构成为包含在其轴方向中位于基端侧的基座、位于末端侧的壳、位于前述基座以及前述壳之间的前述水冷衬垫。

3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

在前述旋转体中多级地配设多个动翼，

在前述壳内以与前述多个动翼对置的方式多基地配设多个固定翼，

前述水冷衬垫与前述多个固定翼的至少一个直接或者间接地热接触。

4.如权利要求1至3中任意一项所述的真空泵，其特征在于，

在前述外装体的内部配设有用于对从前述吸气口吸气的气体进行加热的加热衬垫，

前述加热衬垫位于前述旋转体和前述水冷衬垫之间。

5.如权利要求4所述的真空泵，其特征在于，

构成为在前述加热衬垫的内周面作用真空压，在前述加热衬垫的外周面以及前述水冷衬垫的内周面作用大气压，在前述水冷衬垫的外周面作用大气压。

6.如权利要求4或5所述的真空泵，其特征在于，

前述水冷衬垫在前述外装体的轴方向中的基端侧处进行前述外装体的径方向的定位，在前述水冷衬垫与前述加热衬垫的至少末端侧，在前述外装体的径方向中形成有间隙。

7.如权利要求6所述的真空泵，其特征在于，

前述水冷衬垫具有位于前述外装体的轴方向中的末端侧的第一凸缘部、位于基端侧的第二凸缘部、连接前述第一凸缘部以及前述第二凸缘部的主体部，

前述第一凸缘部以及前述第二凸缘部的外径大于前述主体部的外径，从而在前述第一凸缘部以及前述第二凸缘部的外周面与前述主体部的外周面之间形成台阶，

利用前述第二凸缘部进行前述外装体的径方向的定位，

在前述第一凸缘部中埋设前述水冷管。

8.如权利要求1至3中任意一项所述的真空泵，其特征在于，

构成为在前述水冷衬垫的内周面作用真空压，在前述水冷衬垫的外周面作用大气压。

9.一种水冷衬垫，构成真空泵的外装体的一部件并且用于冷却前述真空泵的内装部件，其特征在于，前述水冷衬垫在其内部配设有水冷管，并且由作为机械性材料特性具有5％以上的延伸率的铝合金的铸造件构成。