[发明专利]激光器装置

说明书

参照受光器(300)接收由折回镜(200)的第2反射面(200b)反射的参照光(RL)。部分受光器(600)接收由部分反射镜(500)反射的激光(LB)的一部分。控制部(14)基于参照受光器(300)输出来检测折回镜(200)的第1反射面(200a)相对于入射到折回镜(200)的第1反射面(200a)的激光(LB)的光路的倾斜角的异常，基于部分受光器(600)的输出来检测被照射物中的激光(LB)的光斑的异常。

技术领域

本申请公开的技术涉及激光器装置。

背景技术

在专利文献1中公开了激光加工装置。该激光加工装置具备：保持工件的保持单元；对工件照射激光来实施给定的加工处理的激光照射单元；使激光反射并导入至激光照射单元的镜单元；在激光的光路中分岔提取一部分激光的提取单元；接收由提取单元提取的激光的受光单元；基于来自受光单元的信号来检测激光的光轴的偏离的检测单元；和按照检测单元的检测结果来控制位于比提取单元更靠前的位置的镜单元的激光的反射方向的控制单元。

先行技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2010-264461号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在专利文献1的装置中，难以判别入射到被照射物的激光的异常的原因是否是镜单元的反射面的倾斜角(相对于入射到反射面的激光的光路的倾斜角)的异常。

为此，本申请公开的技术的目的在于，提供能判别入射到被照射物的激光的异常的原因的激光器装置。

用于解决课题的手段

本申请公开的技术涉及对被照射物照射激光的激光器装置，该激光器装置具备：激光器光源，其出射所述激光；参照光源，其出射参照光；折回镜，其具备通过将从所述激光器光源出射的激光向与行进方向不同的方向反射来将所述激光向所述被照射物引导的第1反射面、和将从所述参照光源出射的参照光向与行进方向不同的方向反射的第2反射面，若所述第1反射面相对于入射到所述第1反射面的激光的光路的倾斜角变化，则所述第2反射面相对于入射到所述第2反射面的参照光的光路的倾斜角变化；参照受光器，其接收由所述折回镜的第2反射面反射的参照光；聚光透镜，其配置于从所述折回镜的第1反射面朝向所述被照射物的激光的光路，并将所述激光聚光；部分反射镜，其反射所述聚光透镜朝向所述被照射物的一部分激光；部分受光器，其接收由所述部分反射镜反射的一部分激光；控制部，其基于所述参照受光器的输出，来检测所述折回镜的第1反射面相对于入射到所述折回镜的第1反射面的激光的光路的倾斜角的异常，基于所述部分受光器的输出，来检测所述被照射物中的所述激光的光斑的异常。

发明的效果

根据本申请公开的技术，能根据基于参照受光器的输出的异常检测的结果和基于部分受光器的输出的异常检测的结果，来判别入射到被照射物的激光的异常的原因。

附图说明

图1是例示实施方式的激光器加工系统的结构的概略图。

图2是例示激光器装置的结构的概略图。

图3是例示参照受光器的结构的概略俯视图。

图4是例示与折回镜的位置的变化相伴的光路的变化的概略图。

图5是例示参照光的受光位置、参照受光器的输出与激光光斑的位置的关系的图。

图6是例示对应关系信息的图。

图7是用于说明基本处理的时序图。

图8是用于说明异常检测处理的流程图。

图9是用于说明激光光斑的异常判定的图。

图10是用于说明校准处理的流程图。