[发明专利]激光器装置

权利要求书

1.一种激光器装置，对被照射物照射激光，

所述激光器装置具备：

激光器光源，其出射所述激光；

参照光源，其出射参照光；

折回镜，其具有通过将从所述激光器光源出射的激光向与行进方向不同的方向反射来将所述激光向所述被照射物引导的第1反射面、和将从所述参照光源出射的参照光向与行进方向不同的方向反射的第2反射面，若所述第1反射面相对于入射到所述第1反射面的激光的光路的倾斜角变化，则所述第2反射面相对于入射到所述第2反射面的参照光的光路的倾斜角变化；

参照受光器，其接收由所述折回镜的第2反射面反射的参照光；

聚光透镜，其配置于从所述折回镜的第1反射面朝向所述被照射物的激光的光路，并将所述激光聚光；

部分反射镜，其反射从所述聚光透镜朝向所述被照射物的一部分激光；

部分受光器，其接收由所述部分反射镜反射的一部分激光；和

控制部，其基于所述参照受光器的输出，来检测所述折回镜的第1反射面相对于入射到所述折回镜的第1反射面的激光的光路的倾斜角的异常，基于所述部分受光器的输出来检测所述被照射物中的所述激光的光斑的异常。

2.根据权利要求1所述的激光器装置，其中，

所述折回镜能进行摇动，以使得所述第1反射面相对于入射到所述第1反射面的激光的光路的倾斜角变化。

3.根据权利要求1或2所述的激光器装置，其中，

所述控制部基于由所述部分受光器接收到的激光的强度，来检测入射到所述被照射物的激光的强度的异常。

4.根据权利要求1或2所述的激光器装置，其中，

所述激光器装置具备：检测器，其检测所述激光的强度，

所述控制部基于所述检测器的输出，来检测入射到所述被照射物的激光的强度的异常。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的激光器装置，其中，

所述控制部能输出用于通知所述折回镜的第1反射面相对于入射到所述折回镜的第1反射面的激光的光路的倾斜角的异常的第1信息和用于通知所述被照射物中的所述激光的光斑的异常的第2信息，比所述第2信息更优先地输出所述第1信息。

6.根据权利要求3或4所述的激光器装置，其中，

所述控制部能输出用于通知所述折回镜的第1反射面相对于入射到所述折回镜的第1反射面的激光的光路的倾斜角的异常的第1信息、用于通知所述被照射物中的所述激光的光斑的异常的第2信息和用于通知所述激光的输出的异常的第3信息，比所述第3信息更优先地输出所述第2信息，比所述第2信息更优先地输出所述第1信息。