[发明专利]感光性树脂组合物及感光性元件在审
| 申请号： | 202080058925.5 | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN114375420A | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 加持义贵 | 申请（专利权）人： | 旭化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/032 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 元件 | ||
1.一种感光性树脂组合物，其含有：
(A)碱溶性高分子；
(B)具有烯属不饱和双键的化合物；
(C)光聚合引发剂；及
(D)下述通式(1)所示的化合物，
式中，R1和R2各自独立地选自由不包含偶氮基的碳数1～20的1价有机基团组成的组。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述化合物(D)在25℃下为固体。
3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述化合物(D)的分子量为100g/mol以上且250g/mol以下。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，相对于所述感光性树脂组合物的固体成分的总量，含有0.0001质量％以上且0.0150质量％以下的所述化合物(D)。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，相对于所述感光性树脂组合物的固体成分的总量，含有0.0001质量％以上且0.0100质量％以下的所述化合物(D)。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，相对于所述感光性树脂组合物的固体成分的总量，含有0.0001质量％以上且0.0050质量％以下的所述化合物(D)。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述化合物(D)为下述通式(2A)所示的化合物，
式中，R1为不包含偶氮基的碳数1～20的1价有机基团，且R3为不包含偶氮基的碳数1～19的1价有机基团。
8.一种感光性元件，其具备支承体和在所述支承体上形成的、由权利要求1～7中任一项所述的感光性树脂组合物形成的层。
9.根据权利要求8所述的感光性元件，其为干膜抗蚀剂。
10.一种将权利要求8或9所述的感光性元件在低于大气压的气压下层压于基板的方法。
11.一种导体图案的制造方法，其包括：
将权利要求8或9所述的感光性元件在低于大气压的气压下层压于基板的工序。
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