[发明专利]压电振子及其制造方法

说明书

本发明提供一种压电振子及其制造方法。压电振子(1)具备：压电振动元件(10)，具有压电片(11)和一对电极(14a、14b)，上述一对电极(14a、14b)包含夹着压电片(11)相互对置的各电极；以及保持器，收纳压电振动元件(10)，在一对电极(14a、14b)中的至少一个电极的上方设置有树脂层(L2)，在电极与树脂层(L2)之间设置有防水层(L1),防水层(L1)的透湿性低于树脂层(L2)的透湿性。

技术领域

本发明涉及压电振子及其制造方法。

背景技术

压电振子在移动通信终端、通信基站、家电等各种电子设备中用于定时设备、传感器、振荡器等用途。例如，压电振子包括：压电振动元件，具有利用压电效应将电振动转换为机械振动的机械振动部；保持器，收纳该压电振动元件；以及导电性保持部件，将压电振动元件与保持器电连接。导电性保持部件例如是以有机硅树脂为主要成分的导电性粘合剂的固化物。

在专利文献1中，公开了一种方法，通过使硅分子化学吸附于在压电基板的表层以铬为基底膜形成金膜而成的激励电极的整个面，而形成单分子膜，来防止从有机硅系粘合剂蒸发的硅氧烷成分附着于激励电极的整个面，抑制压电振子的频率变动。

专利文献1：日本特开2006－217253号公报

然而，在专利文献1所记载的方法中，在压电振子的制造过程中基底膜的铬扩散而从金粒子的晶界隆起，而存在因从单分子膜露出的铬氧化或者羟基化而频率变动的情况。

发明内容

本发明是鉴于这样的情况而完成的，本发明的目的在于提供提高了频率稳定性的压电振子及其制造方法。

本发明的一个方式的压电振子具备：压电振动元件，具有压电片和一对电极，上述一对电极包含夹着压电片相互对置的各电极；以及保持器，收纳压电振动元件，在一对电极中的至少一个电极的上方设置有树脂层，在电极与树脂层之间设置有防水层，上述防水层的透湿性低于树脂层的透湿性。

本发明的另一方式的压电振子的制造方法具备：准备压电片的工序；设置一对电极的工序，上述一对电极包含夹着压电片相互对置的各电极；使用导电性保持部件将压电振动元件搭载于基座部件的工序；去除各电极中的与基座部件相反侧的电极的一部分来调整压电振动元件的频率的工序；对各电极进行退火，并且使导电性保持部件的一部分飞散并沉积于各电极的表面的工序；以及使用接合部件将盖部件接合于基座部件，并且使接合部件的一部分飞散并沉积在防水层上的工序。

根据本发明，能够提供提高了频率稳定性的压电振子及其制造方法。

附图说明

图1是示意性地示出第一实施方式的石英振子的结构的分解立体图。

图2是示意性地示出第一实施方式的石英振子的结构的剖视图。

图3是示意性地示出石英振动元件的电极的结构的剖视图。

图4是示意性地示出第一激励电极的中央部的表面的结构的剖视图。

图5是示意性地示出第一实施方式的石英振子的制造方法的流程图。

图6是示意性地示出进行离子铣削前的第一激励电极的剖视图。

图7是示意性地示出由离子铣削引起的第一激励电极的变化的剖视图。

图8是示意性地示出由退火引起的导电性保持部件的变化的剖视图。

图9是示意性地示出由退火引起的第一激励电极的变化的剖视图。

图10是示意性地示出接合工序中的接合部件的变化的剖视图。

图11是示意性地示出接合工序中的第一激励电极的变化的剖视图。

具体实施方式