[发明专利]压电振子及其制造方法

权利要求书

1.一种压电振子，具备：

压电振动元件，具有压电片和一对电极，上述一对电极包含夹着上述压电片相互对置的各电极；以及

保持器，收纳上述压电振动元件，

在上述一对电极中的至少一个电极的上方设置有树脂层，在上述电极与上述树脂层之间设置有防水层，上述防水层的透湿性低于上述树脂层的透湿性。

2.根据权利要求1所述的压电振子，其中，

还具备一对导电性保持部件，上述一对导电性保持部件将上述压电振动元件保持于上述保持器，

上述一对导电性保持部件具有与构成上述防水层的材料相同的材料。

3.根据权利要求1或2所述的压电振子，其中，

构成上述防水层的材料包含有机硅树脂。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的压电振子，其中，

上述保持器具有：基座部件、在与上述基座部件之间形成收纳上述压电振动元件的内部空间的盖部件、以及接合上述基座部件与上述盖部件的接合部件。

5.根据权利要求4所述的压电振子，其中，

上述接合部件由树脂材料构成。

6.根据权利要求4或5所述的压电振子，其中，

上述接合部件具有与构成上述树脂层的材料相同的材料。

7.根据权利要求6所述的压电振子，其中，

构成上述树脂层的材料包含环氧树脂或聚酰亚胺树脂。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的压电振子，其中，

上述一对电极中的至少一个电极具有第一层和第二层，其中，上述第一层包含金，上述第二层设置于上述压电片与上述第一层之间且包含铬，

上述防水层设置于上述第一层中的包含金晶界的区域。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的压电振子，其中，

上述一对电极中的至少一个电极具有激励电极，

上述防水层覆盖上述激励电极的表面。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的压电振子，其中，

上述压电振动元件是石英振动元件。

11.一种压电振子的制造方法，具备：

准备压电片的工序；

设置一对电极的工序，其中，上述一对电极包含夹着上述压电片相互对置的各电极；

使用导电性保持部件将压电振动元件搭载于基座部件的工序；

去除上述各电极中的与上述基座部件相反侧的电极的一部分来调整上述压电振动元件的频率的工序；

对上述各电极进行退火，并且使上述导电性保持部件的一部分飞散并沉积于上述各电极的表面的工序；以及

使用接合部件将盖部件接合于上述基座部件，并且使上述接合部件的一部分飞散并沉积在防水层上的工序。