[发明专利]光学膜、溅射靶以及光学膜的成膜方法

说明书

本发明提供要求简便的成膜条件的光学膜(含有铯、钨以及氧的复合钨氧化物膜)、溅射靶以及光学膜的成膜方法。本发明的光学膜在可见光波长区域具有透过性，在近红外波长区域具有吸收性，而且具有电波透过性，所述光学膜含有铯、钨以及氧，按每50nm划分300nm～1700nm的波长区域而确定的各波长[300nm、350nm、400nm、450nm、……1700nm]的折射率n和消光系数k分别设定为特定的数值范围内。

技术领域

本发明涉及在可见光波长区域具有透过性、在近红外波长区域具有吸收性并且具有电波透过性的光学膜及其成膜方法，特别是，涉及利用溅射法成膜的光学膜、溅射靶以及光学膜的成膜方法。

背景技术

近年来，为了降低夏季在室内和车等移动机构中的空调的能量消耗量，正在开发吸收外部光的窗的热线遮蔽技术。作为该技术手段，存在将具有热线遮蔽效果的着色膜或形成有光学薄膜的膜(遮光部件)粘贴于窗上的方法、将具有热线遮蔽效果的物质涂布于窗上的方法、采用通过蒸镀或溅射等形成具有热线遮蔽效果的光学薄膜的窗的方法等，采用通过蒸镀或溅射等形成具有热线遮蔽效果的光学薄膜的窗的方法是不能对以有的窗实施光学薄膜但能够形成耐久性高的光学薄膜的方法。

例如，在专利文献1中，作为窗材料等的上述遮光部件，记载了通过蒸镀法形成铝等金属膜的具有镜面状态的膜(遮光部件)。但是，在使用这些遮光部件的情况下，由于外观为半反射镜状，因此，在室外使用时存在反射耀眼的视觉问题。另外，由于铝等金属膜具有高导电性，因此，其反射电波，存在手机、智能手机、GPS(Global Positioning System，全球定位系统)使用设备等利用电波的设备难以连接的问题。

另外，作为涂布具有热线遮蔽效果的物质的上述方法，本申请人提出了具有专利文献2中记载的复合钨氧化物微粒的红外线遮蔽微粒分散体。复合钨氧化物微粒高效地吸收太阳光线特别是近红外线区域的光，而且对可见光也具有高透明性。另外，上述红外线遮蔽微粒分散体是使复合钨氧化物微粒分散在适当的溶剂中制成分散液，在得到的分散液中添加介质树脂后，涂布于基材表面形成薄膜，因此，同时具有热线遮蔽性和电波透过性。但是，专利文献2中记载的方法由于通过涂布(coating)法形成薄膜，因此，存在为了控制膜厚、确保大面积膜厚的均匀性并确保平坦性而需要高度的涂布技术的问题。

另外，作为利用上述溅射等的方法，专利文献3公开了车辆用窗玻璃及其制造方法，使用能够对车辆用窗玻璃的大面积基板进行处理的大型在线方式的溅射装置，例如，提出了依次形成第一金属氧化物膜(ITO)/第一Ag膜/第二金属氧化物膜(ITO)/第二Ag膜/第三金属氧化物膜(ITO)而成的车辆用窗玻璃，专利文献4提出了来自溅射成膜的复合钨氧化物膜。

但是，在使用溅射装置形成第一金属氧化物膜(ITO)/第一Ag膜/第二金属氧化物膜(ITO)/第二Ag膜/第三金属氧化物膜(ITO)等多层膜或上述复合钨氧化物膜等光学膜时，使用的溅射装置的成膜室内形状、玻璃等基板的输送速度、导入成膜室内的氧气等气体放出管和溅射靶以及基板的位置关系等复杂地相互影响，因此，难以唯一地确定所期望的光学膜的成膜条件，以往，根据光学薄膜的理论计算适当地变更成膜条件并且制备多个所期望的光学膜的样品，分别测量制备的样品在可见光波长区域的透过率和近红外波长区域的透过率，针对使用的各溅射装置而求出符合目标的光学膜的成膜条件。

但是，由于可见光波长区域的透过率、近红外波长区域的透过率与光学膜的膜厚有关，因此，也需要一并检查样品的膜厚是否为适当值，期望开发一种简便地求出所期望的光学膜的成膜条件的方法。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平5-113085号公报；

专利文献2：日本特许第4096205号公报；

专利文献3：日本特开2002-020142号公报；

专利文献4：日本特许第6540859号公报。