[发明专利]静电吸盘加热器及其制造方法

权利要求书

1.一种静电吸盘加热器，包括：

加热器主体部，所述加热器主体部具备根据半导体工艺模式而选择性地执行射频接地功能和静电吸盘功能中任一个的内部电极和外部电极；以及

加热器支撑部，所述加热器支撑部加装于所述加热器主体部的下部，支撑所述加热器主体部。

2.根据权利要求1所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

所述外部电极与所述内部电极在同一平面上形成。

3.根据权利要求1所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

所述外部电极从所述内部电极隔开既定距离配置。

4.根据权利要求1所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

所述外部电极以环绕所述内部电极的方式配置。

5.根据权利要求1所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

所述内部电极埋设于所述加热器主体部的上部中央部分。

6.根据权利要求1所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

所述加热器主体部还包括：外部电极连接构件，所述外部电极连接构件配置于电极层与发热体层之间，将所述外部电极与在所述加热器支撑部设置的棒之间电连接。

7.根据权利要求6所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

所述内部电极、外部电极和外部电极连接构件以片型、网型和膏型中的任一种形成。

8.根据权利要求6所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

所述内部电极、外部电极以及外部电极连接构件以导电性优异的钼形成。

9.根据权利要求6所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

所述外部电极连接构件从所述内部电极和外部电极的下面隔开既定距离并与相应电极平行配置，

所述外部电极连接构件的两端向所述外部电极的下面方向垂直折弯形成。

10.根据权利要求1所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

还包括：双极性功能选择部，所述双极性功能选择部与埋设在所述加热器主体部的内部电极和外部电极电连接，选择所述内部电极和外部电极的功能。

11.根据权利要求10所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

所述双极性功能选择部包括：内部电极功能选择部，所述内部电极功能选择部选择所述内部电极的功能；外部电极功能选择部，所述外部电极功能选择部选择所述外部电极的功能。

12.根据权利要求11所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

所述内部电极功能选择部包括第一电容器、第一开关以及供应正直流电压的第一直流电源部，

所述外部电极功能选择部包括第二电容器、第二开关以及供应负直流电压的第二直流电源部。

13.根据权利要求10所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

所述双极性功能选择部在第一半导体工艺模式时选择相应电极功能，以便所述内部电极和外部电极中至少一个执行射频接地功能。

14.根据权利要求10所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

所述双极性功能选择部在第二半导体工艺模式时选择相应电极功能，以便所述内部电极和外部电极全部执行静电吸盘功能。