[发明专利]高功率低频线圈

权利要求书

1.一种线圈，包括：

线圈体；以及

围绕线圈体设置的导线的多个同心截面绕组，所述导线的在相邻匝之间的间距约为所述导线的半径的0.25至1.0倍。

2.如权利要求1所述的线圈，其中，导线的所述多个同心截面绕组是圆柱形和多边形中的至少一种。

3.如权利要求1所述的线圈，其中，导线的所述多个同心截面绕组被连接成使得第一绕组的起点继续到终匝并轴向返回到第一绕组的起始端以开始比第一绕组大的第二绕组。

4.如权利要求3所述的线圈，其中，第二绕组基本上包围第一绕组。

5.如权利要求1所述的线圈，其中，第二绕组的起点继续到终匝并轴向返回到第一绕组和第二绕组的起始端以开始第三绕组。

6.如权利要求1所述的线圈，其中，导线的所述多个同心截面绕组具有每个绕组的共同配准的起点和终点。

7.如权利要求1所述的线圈，其中，导线的所述多个同心截面绕组具有在约2:1和约3:1之间的直径与长度比率。

8.如权利要求1所述的线圈，其中，导线的所述多个同心截面绕组具有在约2.4:1和约2.5:1之间的直径与长度比率。

9.如权利要求1所述的线圈，其中，导线的所述多个同心截面绕组具有约2.46:1的直径与长度比率。

10.如权利要求1所述的线圈，其中，导线的所述多个同心截面绕组中的每一个以固定距离轴向和径向间隔开。

11.如权利要求10所述的线圈，其中，导线的所述多个同心截面绕组在所有导体中心的设置中形成单边三角形。

12.如权利要求1所述的线圈，其中，导线的所述多个同心截面绕组包括每层1匝的绕组匝数的累进。

13.如权利要求1所述的线圈，其中，线圈设置在阻抗匹配网络、滤波器和谐振器中的至少一个中。

14.一种等离子体处理设备，所述等离子体处理设备包括：

线圈体；以及

围绕线圈体设置的导线的多个同心圆柱截面绕组，所述导线的在相邻匝之间的间距约为所述导线的半径的0.25至1.0倍，并且具有约在2:1和约3:1之间的直径与长度比率。

15.如权利要求14所述的线圈，其中，导线的所述多个同心截面绕组具有在约2.4:1和约2.5:1之间的直径与长度比率。

16.如权利要求14所述的线圈，其中，导线的所述多个同心截面绕组具有约2.46:1的直径与长度比率。

17.一种形成用于等离子体处理设备的线圈的方法，所述方法包括：

将导线馈送通过线圈体的线圈体中心部分；

围绕线圈体缠绕导线以形成第一绕组；

使导线返回到线圈体的线圈体中心的中心部分；

围绕线圈体缠绕导线以形成第二绕组，所述第二绕组在径向上比第一绕组距线圈体中心的中心部分更远；

使导线返回到线圈体的线圈体中心的中心部分；以及

围绕线圈体缠绕导线以形成第三绕组，所述第三绕组在径向上比第二绕组距线圈体中心的中心部分更远。

18.如权利要求17所述的方法，其中，第一绕组设置在线圈体的至少一部分上，第二绕组设置在第一间隔件的至少一部分上，第一间隔件设置在线圈体的径向远端部分上，并且第三绕组设置在第二间隔件的至少一部分上，第二间隔件设置在第一间隔件上。