[发明专利]带轴的陶瓷加热器在审
| 申请号： | 202080047869.5 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN114026957A | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 相川贤一郎;竹林央史;久野达也 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | H05B3/22 | 分类号： | H05B3/22;H05B3/28;H05B3/06;H05B3/02;H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 陈彦;郭玫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 陶瓷 加热器 | ||
【权利要求书】：
1.一种带轴的陶瓷加热器，具备：
陶瓷板，其埋设有电阻发热体；
中空的陶瓷轴，其上端接合于所述陶瓷板的与晶片载置面相反侧的面上；以及
轴加热部，其埋设于所述陶瓷轴的上端侧的侧壁中。
2.根据权利要求1所述的带轴的陶瓷加热器，所述陶瓷轴具有筒状的轴主体和覆盖所述轴主体的上端侧的侧面的绝缘膜，
所述轴加热部设置于所述轴主体的上端侧的侧面，通过被所述绝缘膜覆盖而埋设于所述陶瓷轴中。
3.根据权利要求2所述的带轴的陶瓷加热器，所述绝缘膜为气溶胶沉积膜或喷镀膜。
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