[发明专利]对柔性基板执行载荷测量的方法和装置

说明书

公开了一种柔性基板测试系统，该柔性基板测试系统包括：第一板，该第一板包括第一表面，该第一表面被配置为将被测柔性基板的第一侧保持为静止；平移连杆机构，该平移连杆机构被配置为固持第一板并限制板在与板的第一表面平行的方向上的运动；第二板，该第二板包括第二表面，该第二表面被配置为固持柔性基板的第二侧；第一引导板，该第一引导板被配置为引导第二表面的运动以折叠柔性基板和展开柔性基板；致动器，该致动器被配置为根据第一引导板移动第二板以折叠柔性基板和展开柔性基板；以及测力传感器，该测力传感器被配置为在致动器移动第二板时测量第一板上的载荷。

相关申请

本申请要求于2019年6月24日提交的发明名称为“METHODS AND APPARATUS TOPERFORM LOAD MEASUREMENTS ON FLEXIBLE SUBSTRATES[对柔性基板执行载荷测量的方法和装置]”的美国临时专利申请序列号62/865,634和于2020年5月29日提交的美国专利申请序列号16/887,960的优先权。美国临时专利申请序列号62/865,634和美国专利申请号16/887,960的全部内容通过援引明确并入本文。

背景技术

本公开内容总体涉及材料测试，更具体地涉及对柔性基板执行载荷测量的方法和装置。

组件或组件的运动部件的可靠性测试可能涉及重复执行部件的预期和/或非预期运动，以验证部件和/或组件在定义的最少运动循环次数内可靠地运行。例如，柔性基板的可靠性测试可能涉及以一种或多种方式重复弯曲基板，同时对设备的持续操作进行测试和/或监测各种故障模式。

发明内容

公开了对柔性基板执行载荷测量的方法和装置，其基本上通过至少一张附图图示并且结合至少一张附图描述，如同在权利要求中更完整地阐述的那样。

附图说明

当参照附图阅读以下详细描述时，本公开内容的这些和其他特征、方面和优点将得到更好的理解，贯穿附图，相同的附图标记表示相同的零件，在附图中：

图1A是根据本公开内容的方面的用于对柔性基板执行机械性能测试的示例柔性基板测试系统的框图。

图2是图1A的柔性基板测试系统的示例实施方式的框图。

图3是图1A的柔性基板测试系统的示例实施方式的立体图。

图4是图1A的包括引导板的示例基板测试系统的立视图。

图5是图3的平移连杆机构的局部分解视图。

图6是图3的示例柔性基板测试系统的立体图，其中第二板已经移动到位置以折叠被测基板。

图7是图1A的柔性基板测试系统的另一示例实施方式的立体图。

图8是图7的示例柔性基板测试系统的立视图。

图9是图7的示例柔性基板测试系统的平面视图。

图10是图7的示例柔性基板测试系统的立视图。

图11是图7的示例第一板、挠性件和测力传感器的更详细视图。

图12是表示测量柔性基板上的载荷的示例方法的流程图，该方法可以由图1A至图11的示例柔性基板测试系统执行。

附图不一定按比例绘制。在适当情况下，相似或相同的附图标记用于表示相似或相同的部件。

具体实施方式

常规的柔性基板测试系统不是在柔性基板折叠或展开期间测量柔性基板上的载荷或应力。代替地，常规的柔性基板测试系统可能涉及比如缺陷分析等测试和其他静态测试和分析。