[发明专利]对柔性基板执行载荷测量的方法和装置

权利要求书

1.一种柔性基板测试系统，所述柔性基板测试系统包括：

第一基板支撑结构，所述第一基板支撑结构被配置为将被测柔性基板的第一部分保持为静止；

第二基板支撑结构，所述第二基板支撑结构被配置为固持所述柔性基板的第二部分；

致动器，所述致动器被配置为移动所述第二基板支撑结构以折叠所述柔性基板和展开所述柔性基板；以及

测力传感器，所述测力传感器被配置为测量所述柔性基板上的载荷。

2.如权利要求1所述的柔性基板测试系统，进一步包括第一引导件，所述第一引导件被配置为引导所述第二基板支撑结构的运动以折叠所述柔性基板和展开所述柔性基板。

3.如权利要求2所述的柔性基板测试系统，其中，所述第一引导件被配置为根据所述柔性基板的第一预定弯曲半径引导所述第二基板支撑结构的运动。

4.如权利要求3所述的柔性基板测试系统，其中，所述第一引导件可与第二引导件互换，所述第二引导件被配置为根据所述柔性基板的第二预定弯曲半径引导所述第二基板支撑结构的运动。

5.如权利要求2所述的柔性基板测试系统，其中，所述第一引导件包括具有凹槽的第一引导板，所述凹槽被配置为引导附接到所述第二基板支撑结构的凸轮从动件。

6.如权利要求5所述的柔性基板测试系统，其中，所述第一引导板包括致动器凹槽，所述致动器凹槽被配置为引导联接到所述第二基板支撑结构并定位在所述致动器凹槽内的致动销，其中，所述致动器被配置为通过移动所述致动销来移动所述第二基板支撑结构。

7.如权利要求2所述的柔性基板测试系统，其中，所述第一引导件被配置为引导所述第二基板支撑结构的运动，而不会由于所述第二基板支撑结构的运动或重量在所述柔性基板上产生附加应力。

8.如权利要求2所述的柔性基板测试系统，进一步包括第二引导件，所述第二引导件联接到所述第二基板支撑结构并且在所述第二基板支撑结构的与所述第一引导件相反的一侧上，所述第二引导板被配置为引导所述第二基板支撑结构的运动以折叠所述柔性基板和展开所述柔性基板。

9.如权利要求1所述的柔性基板测试系统，进一步包括载荷限制器，所述载荷限制器被配置为限制所述第一基板支撑结构朝向所述测力传感器移位。

10.如权利要求1所述的柔性基板测试系统，进一步包括控制电路系统，所述控制电路系统被配置为基于来自所述测力传感器的载荷信息来确定所述柔性基板上的载荷。

11.如权利要求10所述的柔性基板测试系统，其中，所述控制电路系统被配置为基于在所述柔性基板折叠或展开期间由所述测力传感器测量的动态载荷来确定所述柔性基板上的载荷。

12.如权利要求10所述的柔性基板测试系统，其中，所述控制电路系统被配置为基于在所述柔性基板的折叠或展开完成时由所述测力传感器测量的静态载荷来确定所述柔性基板上的载荷。

13.如权利要求1所述的柔性基板测试系统，进一步包括控制电路系统，所述控制电路系统被配置为控制所述致动器以沿第一方向移动所述第二基板支撑结构以折叠所述柔性基板或沿第二方向移动所述第二基板支撑结构以展开所述柔性基板。

14.如权利要求1所述的柔性基板测试系统，进一步包括平移连杆机构，所述平移连杆机构被配置为固持所述第一基板支撑结构并且将所述第一基板支撑结构的运动限制到所述测力传感器被配置为测量所述载荷所沿着的方向。

15.如权利要求1所述的柔性基板测试系统，其中，所述测力传感器被配置为测量所述柔性基板的第一部分上的载荷。