[发明专利]氟气的制造方法及氟气制造装置

说明书

提供能够抑制由雾导致的配管、阀的堵塞的氟气的制造方法。通过包括电解工序、水分浓度测定工序以及送气工序的方法制造氟气，电解工序在电解槽内进行电解液的电解，水分浓度测定工序对电解时在阴极室所产生的流体中的水分浓度进行测定，送气工序从电解槽的内部经由流路向外部输送电解液的电解时在电解槽的内部产生的流体。在送气工序中，根据在水分浓度测定工序中测定的水分浓度，对流通流体的流路进行切换，在水分浓度测定工序中测定的水分浓度为预先设定的基准值以下的情况下，向第1流路输送流体，在比预先设定的基准值大的情况下，向第2流路输送流体，第1流路是从电解槽的内部向第1外部输送流体的流路，第2流路是从电解槽的内部向第2外部输送流体的流路。预先设定的基准值为0.01体积％以上且0.09体积％以下的范围内的数值。

技术领域

本发明涉及氟气的制造方法及氟气制造装置。

背景技术

氟气能够通过对含有氟化氢和金属氟化物的电解液进行电解来合成(电解合成)。通过电解液的电解，与氟气一起也产生雾(例如电解液的雾)，因此，在从电解槽送出的氟气中伴随有雾。伴随于氟气的雾有可能成为粉体而堵塞在氟气的输送中使用的配管、阀。因此，有时不得不使制造氟气的运转中断或者停止，成为了通过电解法制造氟气时的连续运转的障碍。

为了抑制由雾导致的配管、阀的堵塞，专利文献1公开了将伴随有雾的氟气或者供该气体通过的配管加热到电解液的熔点以上的技术。另外，专利文献2公开了具有气体扩散部和填充材料容纳部的气体生成装置，所述气体扩散部是进行雾的粗处理的空间，所述填充材料容纳部容纳用于吸附雾的填充材料。

现有技术文献

专利文献1：日本国特许公报第5584904号

专利文献2：日本国特许公报第5919824号

发明内容

发明要解决的技术问题

然而，期望有一种能够更有效地抑制由雾导致的配管、阀的堵塞的技术。

本发明的课题在于，提供能够抑制由雾导致的配管、阀的堵塞的氟气的制造方法及氟气制造装置。

用于解决课题的技术方案

为了解决所述课题，本发明的一个技术方案如以下的[1]～[5]。

[1]一种氟气的制造方法，对含有氟化氢和金属氟化物的电解液进行电解来制造氟气，包括：

电解工序，在电解槽内进行所述电解，所述电解槽在内部具有配置有阳极的阳极室和配置有阴极的阴极室；

水分浓度测定工序，对在所述电解时在所述阴极室产生的流体中的水分浓度进行测定；以及

送气工序，从所述电解槽的内部经由流路向外部输送在所述电解液的电解时在所述电解槽的内部产生的流体，

在所述送气工序中，根据在所述水分浓度测定工序中测定出的所述水分浓度来对流通所述流体的流路进行切换，在所述水分浓度测定工序中测定出的所述水分浓度为预先设定的基准值以下的情况下，向第1流路输送所述流体，在比所述预先设定的基准值大的情况下，向第2流路输送所述流体，所述第1流路是从所述电解槽的内部向第1外部输送所述流体的流路，所述第2流路是从所述电解槽的内部向第2外部输送所述流体的流路，

所述预先设定的基准值为0.01体积％以上且0.09体积％以下的范围内的数值。

[2]根据[1]所述的氟气的制造方法，

所述金属氟化物为选自钾、铯、铷以及锂中的至少一种金属的氟化物。

[3]根据[1]或者[2]所述的氟气的制造方法，