[发明专利]氟气的制造方法及氟气制造装置

权利要求书

1.一种氟气的制造方法，对含有氟化氢和金属氟化物的电解液进行电解来制造氟气，包括：

电解工序，在电解槽内进行所述电解，所述电解槽在内部具有配置有阳极的阳极室和配置有阴极的阴极室；

水分浓度测定工序，对在所述电解时在所述阴极室产生的流体中的水分浓度进行测定；以及

送气工序，从所述电解槽的内部经由流路向外部输送在所述电解液的电解时在所述电解槽的内部产生的流体，

在所述送气工序中，根据在所述水分浓度测定工序中测定出的所述水分浓度来对流通所述流体的流路进行切换，在所述水分浓度测定工序中测定出的所述水分浓度为预先设定的基准值以下的情况下，向第1流路输送所述流体，在比所述预先设定的基准值大的情况下，向第2流路输送所述流体，所述第1流路是从所述电解槽的内部向第1外部输送所述流体的流路，所述第2流路是从所述电解槽的内部向第2外部输送所述流体的流路，

所述预先设定的基准值为0.01体积％以上且0.09体积％以下的范围内的数值。

2.根据权利要求1所述的氟气的制造方法，

所述金属氟化物为选自钾、铯、铷以及锂中的至少一种金属的氟化物。

3.根据权利要求1或者权利要求2所述的氟气的制造方法，

在所述电解中使用的阳极为由选自金刚石、类金刚石碳、非晶碳、石墨以及玻璃碳中的至少一种碳材料形成的碳质电极。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的氟气的制造方法，

所述电解槽具有使在所述电解中使用的阳极或者阴极处产生的气泡在所述电解液中沿着铅垂方向上升并能够到达所述电解液的液面的构造。

5.一种氟气制造装置，对含有氟化氢和金属氟化物的电解液进行电解来制造氟气，具备：

电解槽，在其内部具有配置有阳极的阳极室和配置有阴极的阴极室，并且容纳所述电解液来进行所述电解；

水分浓度测定部，其对在所述电解时在所述阴极室产生的流体中的水分浓度进行测定；以及

流路，其从所述电解槽的内部向外部输送在所述电解液的电解时在所述电解槽的内部产生的流体，

所述流路具有从所述电解槽的内部向第1外部输送所述流体的第1流路和从所述电解槽的内部向第2外部输送所述流体的第2流路，并且具有流路切换部，所述流路切换部根据由所述水分浓度测定部测定出的所述水分浓度，将流通所述流体的流路切换为所述第1流路或者所述第2流路，

所述流路切换部，在由所述水分浓度测定部测定出的所述水分浓度为预先设定的基准值以下的情况下，从所述电解槽的内部向所述第1流路输送所述流体，在比所述预先设定的基准值大的情况下，从所述电解槽的内部向所述第2流路输送所述流体，

所述预先设定的基准值为0.01体积％以上且0.09体积％以下的范围内的数值。