[发明专利]热交换系统

权利要求书

1.一种热交换系统，系被配设于急冷装置与控制对象物之间的热交换系统，其特征为具有：

去程回路，系从该急冷装置向该控制对象物供给热媒体；

回程回路，系使该热媒体从该控制对象物向该急冷装置返回；

旁通回路，系绕过该去程回路与该回程回路；

潜热蓄热构件，系被配设于该回程回路中成为比连接该回程回路与该旁通回路之第1连接点靠近急冷装置侧的位置，并进行蓄热及散热；以及

第1流量分配部，系被设置于连接该去程回路与该旁通回路之第2连接点，或该去程回路中成为比该第2连接点靠近控制对象物侧的位置，并向控制对象物侧与旁通回路侧分配该热媒体，

该回程回路系在被设置于比该第1连接点靠近上游侧的第1分支点，分支成第1分支回路与第2分支回路；

具有流路切换部，其系被配设于该第1分支点，并向该第1分支回路或该第2分支回路供给从该控制对象物向该回程回路所输入之该热媒体；

该第1分支回路系具有该第1连接点，与该旁通回路连接，且与该急冷装置连通，进而，在成为比该第1连接点靠近急冷装置侧之位置配设该潜热蓄热构件；

该第2分支回路系与第3连接点连接，而该第3连接点系对该第1分支回路，被设置于比该潜热蓄热构件靠近急冷装置侧的位置。

2.根据权利要求1所述的热交换系统，其中，

该回程回路系进而，该第1分支回路在位于比该第1连接点靠近急冷装置侧之位置的第2分支点，分支成第3分支回路与第4分支回路；

具有第2流量分配部，其系被设置于该第2分支点，并向该第3分支回路与该第4分支回路分配从该旁通回路流入该第1分支回路之该热媒体；

该第3分支回路系具有该第3连接点，与该第2分支回路连接，且与该急冷装置连通；

该第4分支回路系与该第2分支回路连接，并配设该潜热蓄热构件。

3.根据权利要求1或2所述的热交换系统，其中，

该热媒体是冷却该控制对象物之低温媒体；

该潜热蓄热构件系

蓄热温度被设定成比从该控制对象物向该回程回路所输入之该热媒体的温度低；

在该流路切换部将流路切换成向该第1分支回路供给该热媒体的情况，藉蓄热能量冷却从该控制对象物向该回程回路所输入之该热媒体；

在该流路切换部将流路切换成向该第2分支回路供给该热媒体的情况，藉从该旁通回路流入该第1分支回路之该热媒体进行再生。

4.根据权利要求1或2所述的热交换系统，其中，

该热媒体是对该控制对象物加热之高温媒体；

该潜热蓄热构件系

蓄热温度被设定成比从该控制对象物向该回程回路所输入之该热媒体的温度高；

在该流路切换部将流路切换成向该第1分支回路供给该热媒体的情况，藉蓄热能量对从该控制对象物向该回程回路所输入之该热媒体加热；

在该流路切换部将流路切换成向该第2分支回路供给该热媒体的情况，藉从该旁通回路流入该第1分支回路之该热媒体进行再生。

5.一种热交换系统，系被配设于急冷装置与控制对象物之间的热交换系统，其特征为具有：

去程回路，系从该急冷装置向该控制对象物供给热媒体；

回程回路，系使该热媒体从该控制对象物向该急冷装置返回；

旁通回路，系绕过该去程回路与该回程回路；

潜热蓄热构件，系被配设于该回程回路中成为比连接该回程回路与该旁通回路之第1连接点靠近急冷装置侧的位置，并进行蓄热及散热；以及

第1流量分配部，系被设置于连接该去程回路与该旁通回路之第2连接点，或该去程回路中成为比该第2连接点靠近控制对象物侧的位置，并向控制对象物侧与旁通回路侧分配该热媒体，

该控制对象物是温度控制构件，其系被设置于半导体制造装置之反应容器内，并控制晶圆之温度。