[发明专利]加热装置及焊料接合完毕对象物的制造方法

权利要求书

1.一种加热装置，具备：

腔室，收容可能会产生由于加热而气化的物质的对象物；

载台，供载置收容于前述腔室内的前述对象物，且该载台将前述腔室的内部空间区分成下部的下方区域及上部的上方区域；

加热部，对于载置在前述载台的前述对象物进行加热；以及

气体供给装置，将气体供给到前述下部区域；其中

前述腔室构成为在前述上部区域形成有让前述腔室内的流体排出的流出口；且

前述载台构成为形成有间隙，该间隙使通过前述气体供给装置供给到前述下部区域的前述气体成为沿着前述腔室的壁面从前述下方区域往前述上方区域移动的流动。

2.根据权利要求1所述的加热装置，具备：

腔室壁面温度降低抑制构件，抑制前述腔室的壁面的温度降低。

3.根据权利要求1或2所述的加热装置，具备：

物质捕捉部，捕捉经由前述流出口而从前述腔室流出的流体中含有的前述物质。

4.根据权利要求3所述的加热装置，具备：

排出流路，将从前述流出口流出的流体导引到前述物质捕捉部；

真空泵，配置于前述物质捕捉部的下游，且抽吸前述腔室内的流体；

旁通流路，使从前述腔室流出的流体绕过前述物质捕捉部而予以导引到前述真空泵；

开闭阀，进行前述旁通流路的开闭；

物质流量检测部，直接或间接地检测从前述腔室流出的流体中的前述物质的流量；以及

控制装置，在前述物质流量检测部所检测的值超过既定的值时使前述开闭阀关闭，而在前述物质流量检测部所检测的值为前述既定的值以下时使前述开闭阀打开。

5.一种焊料接合完毕对象物的制造方法，其所制造的对象物中，使用权利要求1至4中任一项所述的加热装置进行了焊料接合，前述制造方法包括：

提供工序，将具有焊料的前述对象物提供到前述腔室内；

气体供给工序，以使供给到前述下部区域的前述气体成为从前述下方区域沿着前述腔室的壁面往前述上方区域移动的流动的方式，将前述气体供给到前述腔室内；以及

接合工序，使前述对象物的温度上升而进行焊料接合。