[发明专利]弹性波装置

说明书

提供一种弹性波装置，能够高精度地调整声速，难以产生声损失。弹性波装置(1)在支承基板(2)上层叠有能量封闭层(3)、压电膜(4)及IDT电极(7)，并且设置有声速调整膜(11、12)，该声速调整膜(11、12)设置在压电膜(4)与支承基板(2)之间的至少一部分，并且由与压电膜(4)不同的材料构成。

技术领域

本发明涉及具有声速调整膜的弹性波装置。

背景技术

以往，已知有一种具有用于使弹性波的声速部分不同的声速调整膜的弹性波装置。例如在下述的专利文献1所记载的弹性波装置中，在第一电极指和第二电极指在从弹性波传播方向观察的情况下重叠的交叉区域内的两端附近，设置有第一边缘区域、第二边缘区域。为了降低该第一边缘区域、第二边缘区域的声速，在第一边缘区域、第二边缘区域层叠有用于向第一电极指、第二电极指附加质量的金属膜。另外，在下述的专利文献2中，示出在边缘区域中在第一电极指、第二电极指层叠了电介质膜的构造。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：WO2011/088904A1

专利文献2：日本特开2015-111923号公报

发明内容

发明要解决的课题

在专利文献1和专利文献2所记载的弹性波装置中，将由金属、电介质构成的声速调整膜层叠在第一电极指、第二电极指上，因此，难以高精度地形成声速调整膜。因此，难以高精度地对声速进行调整。另外，当在电极指层叠比较厚的声速调整膜时，声损失变大。因此，机电耦合系数、Q特性也可能会发生劣化。

本发明的目的在于，提供一种能够高精度地调整声速、难以产生声损失的弹性波装置。

用于解决课题的手段

本发明的弹性波装置具备：支承基板；压电膜；IDT电极，其设置在所述压电膜上；能量封闭层，其设置在所述压电膜与所述支承基板之间，用于将能量封闭在所述压电膜；以及声速调整膜，其设置在所述压电膜与所述支承基板之间的至少一部分，并且，由与所述压电膜不同的材料构成。

发明效果

根据本发明，可提供能够高精度地调整声速且难以产生声损失的弹性波装置。

附图说明

图1的(a)及图1的(b)是用于说明本发明的第一实施方式的弹性波装置的主要部分的俯视图及正面剖视图。

图2是示意性示出本发明的第一实施方式的弹性波装置的电极构造的俯视图。

图3是示出本发明的第二实施方式的弹性波装置的主要部分的正面剖视图。

图4的(a)及图4的(b)是用于说明本发明的第三实施方式的弹性波装置的主要部分的俯视图及正面剖视图。

图5的(a)及图5的(b)是用于说明本发明的第四实施方式的弹性波装置的主要部分的俯视图及正面剖视图。

图6是用于说明本发明的第五实施方式的弹性波装置的主要部分的正面剖视图。

图7是示出本发明的第六实施方式的弹性波装置的主要部分的正面剖视图。

具体实施方式

以下，通过参照附图对本发明的具体实施方式进行说明，使本发明变得清楚。

需要说明的是，本说明书所记载的各实施方式是例示性的内容，预先指出在不同的实施方式之间能够进行结构的部分置换或组合。

图1的(a)及图1的(b)是示出本发明的第一实施方式的弹性波装置的主要部分的俯视图及正面剖视图，图2是示意性示出本实施方式的弹性波装置的电极构造的俯视图。