[发明专利]弹性波装置

权利要求书

1.一种弹性波装置，具备：

支承基板；

压电膜；

IDT电极，其设置在所述压电膜上；以及

能量封闭层，其设置在所述压电膜与所述支承基板之间，用于将能量封闭在所述压电膜，

所述能量封闭层具有位于所述压电膜侧的上表面和位于所述支承基板侧的下表面，

所述弹性波装置还具备声速调整膜，所述声速调整膜在所述压电膜与所述支承基板之间的至少一部分设置为在从所述IDT电极的上方俯视时与所述能量封闭层的所述上表面部分重叠，

所述声速调整膜设置为与所述能量封闭层的所述上表面相接、与所述下表面相接或者所述上表面与所述下表面之间，并且，所述声速调整膜由与所述压电膜不同的材料构成，

所述IDT电极具有一对汇流条以及相互交替插入的第一电极指和第二电极指，在将沿弹性波传播方向观察时所述第一电极指与所述第二电极指重叠的区域设为交叉区域的情况下，该交叉区域具有在所述第一电极指、第二电极指的延伸方向上位于中央的中央区域和配置在所述中央区域的两侧的边缘区域，所述声速调整膜设置为在所述边缘区域的下方或所述汇流条的下方沿所述弹性波传播方向延伸。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述声速调整膜设置为与所述压电膜相接。

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述IDT电极是标准型的IDT电极。

4.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述能量封闭层具有声阻抗相对低的低声阻抗层和声阻抗相对高的高声阻抗层，该高声阻抗层配置在比所述低声阻抗层靠所述支承基板侧的位置。

5.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，

所述低声阻抗层与所述高声阻抗层交替地层叠有多层。

6.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述能量封闭层具有高声速材料层和由低声速材料构成的低声速材料层，

在该高声速材料层传播的体波的声速比在所述压电膜传播的弹性波的声速高，

在该低声速材料层传播的体波的声速比在所述压电膜传播的体波的声速低。

7.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，

所述支承基板由高声速材料构成，所述高声速材料层与所述支承基板由相同的材料一体地构成。

8.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述能量封闭层在所述压电膜侧具有开口部，该开口部位于设置有所述IDT电极的部分的下方。

9.根据权利要求8所述的弹性波装置，其中，

在所述能量封闭层设置有具有所述开口部的凹部。