[发明专利]受光装置、及受光装置的制造方法

说明书

本发明的受光装置具备：受光元件，其设置有多个受光部，及玻璃罩，其具有第1表面、及与第1表面为相反侧的第2表面，并且以第2表面与受光元件对向的方式固定于受光元件上。玻璃罩包含设置于第1表面及内部中的至少一者的多个衍射光栅。多个衍射光栅的各个构成为将朝玻璃罩的第1表面入射的测距用激光聚光于多个受光部的各个。

技术领域

本发明涉及一种受光装置、及受光装置的制造方法。

背景技术

作为利用TOF(Time of Flight，飞行时间)方式测定距对象物的距离的技术，LiDAR(Light Detection and Ranging，光侦测及测距)系统备受关注。因而，针对LiDAR系统所使用的受光装置，也进行各种技术开发(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017-224755号公报

发明内容

发明所要解决的问题

在LiDAR系统中，重要的是在受光装置中如何能高精度地接收从光源出射且由对象物反射的测距用激光。另一方面，不希望为了高精度地接收测距用激光而增加受光装置的厚度。

本发明的目的在于提供一种可高精度地接收测距用激光，且可谋求装置的薄型化的受光装置、及这种受光装置的制造方法。

用于解决问题的技术方案

本发明的一方面的受光装置具备：受光元件，其设置有多个受光部，及玻璃罩，其具有第1表面、及与第1表面为相反侧的第2表面，并且以第2表面与受光元件对向的方式，固定于受光元件上，玻璃罩包含设置于第1表面及内部中的至少一者的多个衍射光栅，多个衍射光栅的各个构成为将朝玻璃罩的第1表面入射的测距用激光聚光于多个受光部的各个。

在该受光装置中，玻璃罩包含多个衍射光栅，多个衍射光栅的各个构成为将朝玻璃罩入射的测距用激光聚光至多个受光部的各个。由此，可谋求减少在相邻的受光部间的串扰，及提高多个受光部的各个的灵敏度。而且，多个衍射光栅设置于玻璃罩的第1表面及内部中的至少一者。由此，无须在受光元件与玻璃罩之间设置作为不同的构件的聚光构件。另外，与多个衍射光栅设置于玻璃罩的第2表面的情况相比，由于从受光元件至多个衍射光栅的距离变大，因此可在使玻璃罩更接近受光元件的状态下，将玻璃罩固定于受光元件上。因此，根据该受光装置，可高精度地接收测距用激光，并且可谋求装置的薄型化。

在本发明的一方面的受光装置中，也可以是，玻璃罩以从受光元件分开的状态而固定于受光元件上。由此，可将从受光元件至多个衍射光栅的距离设为适当的距离，并且可使朝玻璃罩入射的测距用激光可靠地聚光于多个受光部的各个。

在本发明的一方面的受光装置中，也可以是，玻璃罩以与受光元件接触的状态而固定于受光元件上。由此，可谋求更进一步的装置的薄型化。

也可以是，本发明的一方面的受光装置还具备出射测距用激光的光源，多个衍射光栅的各个构成为将从光源出射且由对象物反射的测距用激光聚光于多个受光部的各个。由此，可高精度地测定距对象物的距离。

在本发明的一方面的受光装置中，也可以是，玻璃罩包含：玻璃基板、及设置于玻璃基板的第1表面侧的表面的第1膜，多个衍射光栅形成于第1膜。由此，可将从受光元件至多个衍射光栅的距离设为适当的距离，并且可使朝玻璃罩入射的测距用激光可靠地聚光至多个受光部的各个。

在本发明的一方面的受光装置中，也可以是，玻璃罩包含玻璃基板，多个衍射光栅形成于玻璃基板的第1表面侧的表面。由此，可将从受光元件至多个衍射光栅的距离设为适当的距离，并且可使朝玻璃罩入射的测距用激光可靠地聚光至多个受光部的各个。