[发明专利]受光装置、及受光装置的制造方法在审
申请号: | 202080018320.3 | 申请日: | 2020-03-04 |
公开(公告)号: | CN113518928A | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
发明(设计)人: | 久米真纪夫 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01S7/481 | 分类号: | G01S7/481 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;梁策 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 制造 方法 | ||
1.一种受光装置,其中,
具备:
受光元件,其设置有多个受光部,及
玻璃罩,其具有第1表面、及与所述第1表面为相反侧的第2表面,并且以所述第2表面与所述受光元件对向的方式,固定于所述受光元件上,
所述玻璃罩包含设置于所述第1表面及内部中的至少一者的多个衍射光栅,
所述多个衍射光栅的各个构成为将朝所述玻璃罩的所述第1表面入射的测距用激光聚光于所述多个受光部的各个。
2.如权利要求1的受光装置,其中,所述玻璃罩以从所述受光元件分开的状态而固定于所述受光元件上。
3.如权利要求1的受光装置,其中,所述玻璃罩以与所述受光元件接触的状态而固定于所述受光元件上。
4.如权利要求1至3中任一项的受光装置,其中,还具备出射所述测距用激光的光源,
所述多个衍射光栅的各个构成为将从所述光源出射且由对象物反射的所述测距用激光聚光于所述多个受光部的各个。
5.如权利要求1至4中任一项的受光装置,其中,所述玻璃罩包含:玻璃基板、及设置于所述玻璃基板的所述第1表面侧的表面的第1膜,
所述多个衍射光栅形成于所述第1膜。
6.如权利要求1至4中任一项的受光装置,其中,所述玻璃罩包含玻璃基板,
所述多个衍射光栅形成于所述玻璃基板的所述第1表面侧的表面。
7.如权利要求1至6中任一项的受光装置,其中,所述玻璃罩还包含配置于相对于所述多个衍射光栅与所述受光元件为相反侧的滤光器,
所述滤光器对于所述测距用激光具有透过性,对于具有所述测距用激光的波长以外的波长的光具有遮光性。
8.如权利要求1至7中任一项的受光装置,其中,
还具备:
基板,其具有:配置有所述受光元件的内侧表面、及与所述内侧表面为相反侧的外侧表面、以及在所述内侧表面及所述外侧表面开口的贯通孔,并且所述基板与所述玻璃罩一起构成容纳所述受光元件的封装体,
金属膜,其设置于所述贯通孔的内面,
金属球,其配置于所述贯通孔内,及
焊料构件,其在所述贯通孔内配置于所述金属膜与所述金属球之间,并将所述金属球固定于所述贯通孔内,
所述贯通孔包含:位于所述内侧表面的内侧开口部、位于所述外侧表面的外侧开口部、及位于所述内侧表面与所述外侧表面之间的中间开口部,
所述外侧开口部呈所述金属球能够通过的形状,
所述中间开口部呈所述金属球不能通过的形状,
所述金属膜具有设置于所述贯通孔的所述内面中的、位于所述外侧开口部与所述中间开口部之间的侧面的筒部,
所述金属球以由所述筒部包围的方式配置于所述贯通孔内,
所述焊料构件以从所述金属球跨至所述筒部的状态,将所述筒部与所述金属球之间的区域密封。
9.如权利要求8的受光装置,其中,所述中间开口部呈长条形状。
10.如权利要求8或9的受光装置,其中,所述贯通孔为从所述内侧表面朝向所述外侧表面扩展的锥形孔。
11.如权利要求8或9的受光装置,其中,所述贯通孔为在所述外侧表面侧扩宽的阶梯孔。
12.如权利要求8至11中任一项的受光装置,其中,所述金属膜还具有以沿所述外侧开口部的外缘延伸的方式设置于所述外侧表面的凸缘部,
所述筒部连接于所述凸缘部。
13.如权利要求8至12中任一项的受光装置,其中,所述焊料构件的所述外侧开口部侧的表面在所述筒部与所述金属球之间的所述区域,成为朝所述内侧开口部侧凹入的曲面。
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