[发明专利]用于制造压电叠堆执行器的方法和压电叠堆执行器在审
| 申请号: | 202080013410.3 | 申请日: | 2020-02-10 | 
| 公开(公告)号: | CN113508471A | 公开(公告)日: | 2021-10-15 | 
| 发明(设计)人: | 凯文·施佩尔 | 申请(专利权)人: | PI陶瓷有限责任公司 | 
| 主分类号: | H01L41/047 | 分类号: | H01L41/047;H01L41/083 | 
| 代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 | 
| 地址: | 德国累*** | 国省代码: | 暂无信息 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 制造 压电 执行 方法 | ||
1.用于制造压电叠堆执行器(1)的方法,所述方法包括以下步骤:
a.步骤A:提供至少两个执行器(2),这些执行器构造为,在电操控时分别产生沿着轴线(A)的挠曲,
b.步骤B:将所述至少两个执行器(2)联接以构成所述叠堆执行器(1),使得所述执行器(2)的在电操控时产生的挠曲沿着叠堆轴线(S)叠加,并且经由至少一个联接面(K)进行所述执行器(2)的力联接,所述联接面小于所述执行器(2)在垂直于所述叠堆轴线(S)的平面(E)上的投影面(P)。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤A具有以下子步骤中的至少一个:
a.子步骤A1:提供压电陶瓷层(2a)和电触点(2c、2e),以构建所述执行器(2)、优选构建为单层执行器或多层执行器,
b.子步骤A2:沿着轴线(A)堆叠所述压电陶瓷层(2a),优选以如下方式,即,使得两个相邻的压电陶瓷层(2a)在中间分别连接有具有极性相同的极点(2b、2d)的电触点(2c、2e)、优选电极层或接触片的情况下面向彼此,
c.子步骤A3:将所述电触点(2c、2e)与相应极性的电极(25、26)连接,其中,极性不同的电极(25、26)彼此间隔开地设置在所述执行器(2)的优选周侧、优选位于所述执行器(2)的径向相对侧,
d.子步骤A4:用优选陶瓷的绝缘材料(20)、特别优选整体烧结的陶瓷的绝缘材料(20)包覆所述压电陶瓷层(2a)和所述电触点(2c、2e),其中,用绝缘材料(20)的包覆物特别优选是气密的和/或防潮的,
e.子步骤A5:构成至少一个联接面(K),以将所述执行器(2)与相邻的执行器(2)力联接,优选根据以下子步骤中的至少一个:
i.子步骤A5-1:在所述执行器(2)的包覆物、优选由绝缘材料(20)、优选陶瓷的绝缘材料(20)制成的包覆物上、特别优选在保持所述包覆物的绝缘功能的情况下构成至少一个联接面(K),
ii.子步骤A5-2:在待设置在两个待联接的执行器(2)之间的附加元件(3)上构成至少一个联接面(K),所述附加元件(3)优选构造为电极,
iii.子步骤A5-3:在所述执行器(2)的或所述附加元件(3)的一个或两个轴向端部上构成所述联接面(K),优选以如下方式,即,所述联接面(K)构成所述执行器(2)的或所述附加元件(3)的所述一个或两个轴向端部中的一个轴向端部,
iv.子步骤A5-7:构成所述联接面(K),使得关于所述执行器(2)的投影面(P)适于以下的面积比例:0.7*P≤KP、优选0.8*P≤K≤0.99*P、优选0.9*P≤K≤0.95*P。
3.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,步骤B具有以下子步骤中的至少一个:
a.子步骤B2:在两个相邻的执行器(2)之间设置优选构造为电极的附加元件(3),
b.子步骤B3:将所述至少两个执行器(2)连接,使得两个相邻的执行器(2)分别直接作用连接或者经由附加元件(3)间接作用连接、优选通过在所述相邻的执行器(2)之间或者在所述相邻的执行器(2)中的每一个执行器与设置在它们之间的附加元件(3)之间优选通过粘合剂构成材料锁合连接,特别优选地,所述粘合剂完全粘合所述至少一个联接面(K),
c.子步骤B4:在所述至少一个联接面(K)外部、优选在边缘区域中、优选在联接平面中特别优选通过去除压电陶瓷材料和/或粘合剂和/或施加分离剂来将两个执行器(2)断联,
d.子步骤B5:通过连接区段(11)、优选通过将所述连接区段(11)施加到所述电极(25、26)上来将执行器(2)的具有相同极性的电极(25、26)彼此连接。
4.优选根据前述权利要求中任一项所述的方法制造的压电叠堆执行器(1),所述压电叠堆执行器包括至少两个执行器(2),这些执行器构造为在电操控时分别产生沿着轴线(A)的挠曲,其中,所述至少两个执行器(2)沿着叠堆轴线(S)堆叠,使得所述执行器(2)的在电操控时产生的挠曲沿着所述叠堆轴线(S)叠加,其中,所述至少两个执行器(2)如下地联接,即,使得经由其进行执行器(2)至相邻的执行器(2)的力联接的联接面(K)小于所述执行器(2)在垂直于所述轴线(A)的平面上的投影面(P)。
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