[发明专利]液体涂布单元和液体涂布装置有效
申请号: | 202080013181.5 | 申请日: | 2020-02-03 |
公开(公告)号: | CN113474088B | 公开(公告)日: | 2023-03-07 |
发明(设计)人: | 神谷航平 | 申请(专利权)人: | NTN株式会社 |
主分类号: | B05C1/02 | 分类号: | B05C1/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 韩俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 液体 单元 装置 | ||
1.一种液体涂布单元,所述液体涂布单元用于使用涂布针来将液体材料涂布到目标的表面,所述液体涂布单元包括:
所述涂布针;以及
液体材料容器,所述液体材料容器储存所述液体材料,其中,
所述液体材料容器具有储存所述液体材料的空间、以及允许所述涂布针穿过所述空间的孔,
用于对所述液体材料的润湿和扩散抑制结构配置在所述液体材料容器中的所述孔的周围,
所述涂布针包括将所述液体材料涂布到所述目标的末端、以及配置在比所述末端更靠底部侧的保持部,
润湿和扩散抑制结构是所述液体材料容器具有朝向所述涂布针的末端侧突出的形状的突出部,
在沿所述孔的横截面中,所述突出部包括第一形状部和第二形状部,所述第一形状部具有如下形状:作为突出部的表面的突出部表面倾斜,使得所述孔的宽度在所述末端侧大于在所述保持部侧,所述第二形状部具有如下形状:所述突出部表面在所述孔的外侧倾斜,使得所述突出部的宽度从所述末端侧朝向所述保持部侧增大,
所述第二形状部相对于所述孔的延伸方向具有比所述第一形状部更陡的斜度。
2.如权利要求1所述的液体涂布单元,其特征在于,所述突出部还包括将所述第一形状部和所述第二形状部连接的连接部。
3.如权利要求2所述的液体涂布单元,其特征在于,所述连接部在从所述涂布针的中心开始的径向方向上具有等于或小于50μm的尺寸。
4.如权利要求1至3中任一项所述的液体涂布单元,其特征在于,所述第一形状部和所述第二形状部中的至少一个是弧形的。
5.如权利要求1至3中任一项所述的液体涂布单元,其特征在于,所述第一形状部和所述第二形状部中的至少一个是直线性的。
6.一种液体涂布单元,所述液体涂布单元用于使用涂布针来将液体材料涂布到目标的表面,所述液体涂布单元包括:
所述涂布针;以及
液体材料容器,所述液体材料容器储存所述液体材料,其中,
所述液体材料容器具有储存所述液体材料的空间、以及允许所述涂布针穿过所述空间的孔,
用于对所述液体材料的润湿和扩散抑制结构配置在所述液体材料容器中的所述孔的周围,
所述润湿和扩散抑制结构是从所述涂布针的中心开始在径向方向上彼此间隔开的多个环形凹槽。
7.如权利要求6所述的液体涂布单元,其特征在于,
所述涂布针包括将所述液体材料涂布到所述目标的末端、以及配置在比所述末端更靠底部侧的保持部,
所述液体涂布单元还包括第三形状部,所述第三形状部具有如下形状:在沿所述孔的横截面中,所述液体材料容器的表面倾斜,使得所述环形凹槽的所述孔侧的所述孔的宽度在所述末端侧大于所述保持部侧,
所述第三形状部在沿所述孔的横截面中是直线性的。
8.如权利要求6所述的液体涂布单元,其特征在于,润湿和扩散抑制结构形成为具有拒液性的拒液涂层。
9.一种液体涂布装置,包括:
如权利要求1至3中任一项所述的液体涂布单元;以及
保持所述目标的保持台。
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