[实用新型]一种硅棒清洗液配制系统

说明书

本实用新型公开了一种硅棒清洗液配制系统，包括水罐、试剂罐和第一工艺槽；水罐的出水口输水管道和混合管道的进水端连通，混合管道的出水端与第一工艺槽的进水口连通；试剂罐的出液口通过管道与混合管道的进水端连通；在水罐的出水口处相邻设有出水阀和水流量计，在试剂罐的出液口处相邻设有出液阀和试剂流量计。优点在于：1、可实现自动精准配液，自动对工艺槽进行补液；2、无需额外配置配液槽；3、洗液只经过混合管道，不会对输水管道造成腐蚀；4、混合管道内设置的螺旋叶片可使水和试剂在较短的时间内充分混合均匀。

技术领域：

本实用新型涉及一种配制系统，尤其涉及一种硅棒清洗液配制系统。

背景技术：

由单晶炉生产的硅棒表面会存在大量的污渍，不仅搬运过程中影响工作环境，也会对后续加工工艺产生影响，所以，通常会利用洗液对硅棒表面进行清洗。洗液一般都是由试剂和水配制而成的，由人工按照一定的比例在配液槽内配制好，再由泵将配制好的洗液泵至工艺槽内对硅棒进行清洗。由于洗液中水的用量较大、占比也较大，导致配液槽的体积较大，占地面积大；又由于洗液一般呈酸性或碱性，配制好的洗液在输送至工艺槽的过程中会对输送管道及泵体造成腐蚀，影响输送管道及泵体的使用寿命；而且，人工配制的过程中会存在误差，影响试剂与水的配制比例，进而会影响对硅棒的清洗效果；此外，由于洗液的用量较大，每天至少需要配制两次洗液，增加了工作量。

实用新型内容：

本实用新型的目的在于提供一种结构简单、易于实现的硅棒清洗液配制系统。

本实用新型由如下技术方案实施：

一种硅棒清洗液配制系统，包括水罐、试剂罐和第一工艺槽；

所述水罐的出水口通过输水管道和混合管道的进水端连通，所述混合管道的出水端与所述第一工艺槽的进水口连通；

所述试剂罐的出液口通过管道与所述混合管道的进水端连通；

在所述水罐的出水口处相邻设有出水阀和水流量计，在所述试剂罐的出液口处相邻设有出液阀和试剂流量计；

所述水流量计和所述试剂流量计的信号输出端均与控制器的信号输入端信号连接，所述控制器的信号输出端分别与所述出水阀和所述出液阀的信号输入端信号连接。

进一步的，其还包括第二工艺槽，所述混合管道的出水端与三通阀的进口连通，所述三通阀的两个出口分别与所述第一工艺槽和所述第二工艺槽的进水口连通；

在所述第一工艺槽和所述第二工艺槽内分别设有第一液位计和第二液位计；

所述第一液位计和所述第二液位计的信号输出端均与所述控制器的信号输入端信号连接，所述控制器的信号输出端与所述三通阀的信号输入端信号连接。

进一步的，在所述混合管道的内壁固定设有螺旋叶片。

本实用新型的优点：

1、可实现自动精准配液，自动对工艺槽进行补液；2、无需额外配置配液槽；3、洗液只经过长度较短的混合管道，不会对长度较长的输水管道造成腐蚀；4、混合管道内设置的螺旋叶片可使水和试剂在较短的时间内充分混合均匀。

附图说明：

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实施例的结构示意图；

图中：水罐1、三通阀2、试剂罐3、第一工艺槽4、第二工艺槽5、输水管道6、混合管道7、水流量计8、试剂流量计9、第一液位计10、第二液位计11、控制器12、出水阀13、出液阀14。

具体实施方式：