[实用新型]一种硅棒清洗液配制系统

权利要求书

1.一种硅棒清洗液配制系统，其特征在于，包括水罐、试剂罐和第一工艺槽；

所述水罐的出水口通过输水管道和混合管道的进水端连通，所述混合管道的出水端与所述第一工艺槽的进水口连通；

所述试剂罐的出液口通过管道与所述混合管道的进水端连通；

在所述水罐的出水口处相邻设有出水阀和水流量计，在所述试剂罐的出液口处相邻设有出液阀和试剂流量计；

所述水流量计和所述试剂流量计的信号输出端均与控制器的信号输入端信号连接，所述控制器的信号输出端分别与所述出水阀和所述出液阀的信号输入端信号连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅棒清洗液配制系统，其特征在于，其还包括第二工艺槽，所述混合管道的出水端与三通阀的进口连通，所述三通阀的两个出口分别与所述第一工艺槽和所述第二工艺槽的进水口连通；

在所述第一工艺槽和所述第二工艺槽内分别设有第一液位计和第二液位计；

所述第一液位计和所述第二液位计的信号输出端均与所述控制器的信号输入端信号连接，所述控制器的信号输出端与所述三通阀的信号输入端信号连接。

3.根据权利要求1或2所述的一种硅棒清洗液配制系统，其特征在于，在所述混合管道的内壁固定设有螺旋叶片。