[实用新型]一种超薄样品抛光用夹具

权利要求书

1.一种超薄样品抛光用夹具，包括陶瓷饼（1），其特征在于，还包括设置于陶瓷饼上的纤维网（2）以及设置于所述纤维网（2）上的钢片夹具（3），所述钢片夹具（3）上开设有用于放置样品的型腔（4），样品非加工面与所述纤维网（2）接触。

2.根据权利要求1所述的超薄样品抛光用夹具，其特征在于：所述钢片夹具（3）为圆形，若干个所述型腔（4）沿钢片夹具周向均匀分布。

3.根据权利要求2所述的超薄样品抛光用夹具，其特征在于：所述钢片夹具（3）上相邻的两个型腔（4）之间开设有避空空位（5），在所述钢片夹具中心开设有中央避空空位（6）。

4.根据权利要求3所述的超薄样品抛光用夹具，其特征在于：所述中央避空空位（6）为圆形。

5.根据权利要求4所述的超薄样品抛光用夹具，其特征在于：所述纤维网（2）为300~600目纤维网，厚度为0.03mm~0.05mm，外径比所述钢片夹具（3）的外径大0mm~5mm，内径与所述中央避空空位的直径相等或略小于所述中央避空空位的直径。

6.根据权利要求4所述的超薄样品抛光用夹具，其特征在于：所述陶瓷饼（1）的厚度为18mm~22mm，所述陶瓷饼（1）的直径比所述钢片夹具（3）的外径大1mm~2mm。

7.根据权利要求4所述的超薄样品抛光用夹具，其特征在于：所述钢片夹具（3）的厚度比所述样品的厚度小0.05mm~0.2mm。

8.根据权利要求1或2所述的超薄样品抛光用夹具，其特征在于：所述陶瓷饼（1）与所述纤维网（2）一侧粘结固定，所述纤维网（2）另一侧与所述钢片夹具（3）粘结固定。

9.根据权利要求7所述的超薄样品抛光用夹具，其特征在于：所述陶瓷饼（1）与所述纤维网（2）一侧通过双面胶粘结固定，所述纤维网（2）另一侧与所述钢片夹具（3）通过双面胶粘结固定。