[实用新型]一种改善扩散均匀性的大尺寸石英管

权利要求书

1.一种改善扩散均匀性的大尺寸石英管，其特征在于：包括有内柱体（1）和套设在内柱体（1）外部的外管体（2），内柱体（1）和外管体（2）均为石英材质，外管体（2）的一端为开口设置，而另一端为闭合设置，内柱体（1）与外管体（2）之间连接有石英结点（3），外管体（2）上开设有若干贯通管体的扩散孔（4），外管体（2）两端的扩散孔（4）分布密度大于外管体（2）中部的分布密度。

2.根据权利要求1所述的改善扩散均匀性的大尺寸石英管，其特征在于：所述外管体（2）的长度为1.5～2.5米。

3.根据权利要求1或2所述的改善扩散均匀性的大尺寸石英管，其特征在于：所述外管体（2）两端的扩散孔（4）分布密度为10～50个/米，外管体（2）中部的扩散孔（4）分布密度为5～30个/米。

4.根据权利要求3所述的改善扩散均匀性的大尺寸石英管，其特征在于：所述外管体（2）两端的扩散孔（4）分布密度为外管体（2）中部分布密度的1.5～2倍。

5.根据权利要求4所述的改善扩散均匀性的大尺寸石英管，其特征在于：所述扩散孔（4）的孔径为3～5mm。

6.根据权利要求1所述的改善扩散均匀性的大尺寸石英管，其特征在于：所述的石英结点（3）为3～4个/米。

7.根据权利要求6所述的改善扩散均匀性的大尺寸石英管，其特征在于：所述石英结点（3）的宽度10～25mm。

8.根据权利要求1所述的改善扩散均匀性的大尺寸石英管，其特征在于：所述内柱体（1）的外径为5mm，外管体（2）的外径为15～30mm。