[实用新型]剥离液回收设备以及显示面板光阻剥离系统

说明书

本实用新型涉及一种剥离液回收设备以及显示面板光阻剥离系统，剥离液回收设备包括依次连接的集液装置、光阻剂固化装置、光阻剂过滤装置和储液装置，光阻剂固化装置用于对剥离液中的光阻剂进行固化处理并形成凝聚物，光阻剂过滤装置用于过滤剥离液中的凝聚物，光阻剂过滤装置包括多个依次连接的过滤器，且位于两端的过滤器分别与光阻剂固化装置和储液装置连通，由靠近光阻剂固化装置的一端朝向靠近储液装置的一端，多个过滤器的滤网目数依次递增。通过设置多个滤网目数依次递增的过滤器，以使多个过滤器依次从大尺寸凝聚物至小尺寸凝聚物进行分级捕获，具有降低过滤器更换频率和保证剥离液流量的特点。

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种剥离液回收设备以及包含该剥离液回收设备的显示面板光阻剥离系统。

背景技术

在半导体显示制造过程中，显示面板包括滤光器阵列基板和TFT阵列基板，(TFT，Thin Film Transistor，薄膜晶体管)，TFT阵列基板的制作过程包含剥离工艺，即把定义图形的光阻(photorisist，简称PR)用剥离液(例如显影液)去除的工艺。剥离液回收设备用于对剥离液以及溶于剥离液中的光阻剂进行回收，通过对剥离液进行固化处理，使溶于剥离液中的光阻剂形成胶状凝聚物，再通过过滤器对剥离液进行过滤处理，实现剥离液与光阻凝聚物分离。现有的过滤处理方式为将过滤器接入剥离液的输送管道，过滤器的孔径为设计要求的最小孔径30μm，以保证过滤后的剥离液符合回收要求。当过滤器内的光阻凝聚物达到一定数量时，大量的光阻凝聚物对过滤器的过滤孔造成堵塞，使剥离液无法正常通过过滤器，因此需要频繁的更换过滤器。同时，随着过滤器内光阻凝聚物的增加，会使输送管道的流量逐渐降低，进而影响整个回收设备的作业效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种剥离液回收设备以及显示面板光阻剥离系统，其过滤器更换频率低，可保证剥离液的流量。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供的一种剥离液回收设备，包括依次连接的集液装置、光阻剂固化装置、光阻剂过滤装置和储液装置，所述光阻剂固化装置用于对所述剥离液中的光阻剂进行固化处理并形成凝聚物，所述光阻剂过滤装置用于过滤所述剥离液中的所述凝聚物，其特征在于，所述光阻剂过滤装置包括多个依次连接的过滤器，且位于两端的所述过滤器分别与光阻剂固化装置和所述储液装置连通，由靠近所述光阻剂固化装置的一端朝向靠近所述储液装置的一端，多个所述过滤器的滤网目数依次递增。

作为剥离液回收设备的一种优选方案，所述光阻剂过滤装置为至少两个，所有的所述光阻剂过滤装置的进液端均与所述光阻剂固化装置连接，所有的所述光阻剂过滤装置的出液端均与所述储液装置连接。

作为剥离液回收设备的一种优选方案，所述过滤器的进液端均设置有进液阀门。

作为剥离液回收设备的一种优选方案，所述光阻剂过滤装置包括三个所述过滤器，三个所述过滤器分别为第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器，所述第一过滤器与所述光阻剂固化装置连接，所述第三过滤器与所述储液装置连接，所述第二过滤器位于所述第一过滤器和所述第三过滤器之间，所述第一过滤器的滤网目数为60～80，所述第二过滤器的滤网目数为110～180，所述第三过滤器的滤网目数为425～500。

作为剥离液回收设备的一种优选方案，所述光阻剂过滤装置为两个，每个所述光阻剂过滤装置的进液端通过进液支管道与所述光阻剂固化装置连接，所述进液支管道上设置有进液阀门，每个所述光阻剂过滤装置的出液端通过出液支管道与所述储液装置连接，所述出液支管道上设置有流量计，所述流量计用于检测所述出液支管道内所述剥离液的流量。

作为剥离液回收设备的一种优选方案，每个所述过滤器的出口端均设置有流量计。

作为剥离液回收设备的一种优选方案，还包括金属离子过滤装置，所述金属离子过滤装置设置于所述光阻剂过滤装置与所述储液装置之间，所述金属离子过滤装置用于去除所述剥离液内的金属离子。