[实用新型]剥离液回收设备以及显示面板光阻剥离系统

权利要求书

1.一种剥离液回收设备，包括依次连接的集液装置、光阻剂固化装置、光阻剂过滤装置和储液装置，所述光阻剂固化装置用于对所述剥离液中的光阻剂进行固化处理并形成凝聚物，所述光阻剂过滤装置用于过滤所述剥离液中的所述凝聚物，其特征在于，所述光阻剂过滤装置包括多个依次连接的过滤器，且位于两端的所述过滤器分别与光阻剂固化装置和所述储液装置连通，由靠近所述光阻剂固化装置的一端朝向靠近所述储液装置的一端，多个所述过滤器的滤网目数依次递增。

2.根据权利要求1所述的剥离液回收设备，其特征在于，所述光阻剂过滤装置为至少两个，所有的所述光阻剂过滤装置的进液端均与所述光阻剂固化装置连接，所有的所述光阻剂过滤装置的出液端均与所述储液装置连接。

3.根据权利要求1所述的剥离液回收设备，其特征在于，所述过滤器的进液端均设置有进液阀门。

4.根据权利要求3所述的剥离液回收设备，其特征在于，所述光阻剂过滤装置包括三个所述过滤器，三个所述过滤器分别为第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器，所述第一过滤器与所述光阻剂固化装置连接，所述第三过滤器与所述储液装置连接，所述第二过滤器位于所述第一过滤器和所述第三过滤器之间，所述第一过滤器的滤网目数为60～80，所述第二过滤器的滤网目数为110～180，所述第三过滤器的滤网目数为425～500。

5.根据权利要求2所述的剥离液回收设备，其特征在于，所述光阻剂过滤装置为两个，每个所述光阻剂过滤装置的进液端通过进液支管道与所述光阻剂固化装置连接，所述进液支管道上设置有进液阀门，每个所述光阻剂过滤装置的出液端通过出液支管道与所述储液装置连接，所述出液支管道上设置有流量计，所述流量计用于检测所述出液支管道内所述剥离液的流量。

6.根据权利要求1所述的剥离液回收设备，其特征在于，每个所述过滤器的出口端均设置有流量计。

7.根据权利要求1所述的剥离液回收设备，其特征在于，还包括金属离子过滤装置，所述金属离子过滤装置设置于所述光阻剂过滤装置与所述储液装置之间，所述金属离子过滤装置用于去除所述剥离液内的金属离子。

8.根据权利要求1所述的剥离液回收设备，其特征在于，还包括驱动装置，所述驱动装置设置于所述光阻剂过滤装置与所述储液装置之间。

9.根据权利要求1所述的剥离液回收设备，其特征在于，所述过滤器包括外壳和设置于所述外壳内的滤网，所述滤网与所述外壳可拆卸连接。

10.一种显示面板光阻剥离系统，其特征在于，包括权利要求1至9任一项所述的剥离液回收设备。