[实用新型]一种双通道上下料装置

说明书

本实用新型公开了一种双通道上下料装置，包括：上下料支架，其上开设有平行且间隔设置的上料通道及下料通道；两组传送机构，所述上料通道及下料通道中均安装有一组所述传送机构；其中，所述上料通道与下料通道呈水平并列布置或上下堆叠布置。根据本实用新型，其能够独立进行上料及下料作业，使得上料过程及下料过程能够独立进行，避免相互干扰导致的上料及下料效率低下。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备领域，特别涉及一种双通道上下料装置。

背景技术

在半导体加工设备领域中，采用不同结构形式的上下料装置来实现物料的上料与下料是众所周知的。在研究和实现物料的上料与下料的过程中，研究人员发现现有技术中的上下料装置至少存在如下问题：

结构复杂，占地面积大，导致上料与下料过程容易互相干扰，从而影响上料及下料效率。

有鉴于此，实有必要开发一种双通道上下料装置，用以解决上述问题。

实用新型内容

为了克服上述上下料装置所存在的问题，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够独立进行上料及下料作业的双通道上下料装置，其使得上料过程及下料过程能够独立进行，避免相互干扰导致的上料及下料效率低下。

就双通道上下料装置而言，本实用新型为解决上述技术问题的双通道上下料装置包括：

上下料支架，其上开设有平行且间隔设置的上料通道及下料通道；

两组传送机构，所述上料通道及下料通道中均安装有一组所述传送机构；

其中，所述上料通道与下料通道呈水平并列布置或上下堆叠布置。

可选的，所述传送机构包括：

安装于所述上料通道或下料通道中的上下料支架组件，其包括底板、顶板及支撑部件，所述支撑部件支撑于所述顶板与底板之间以使得所述顶板与底板间隔设置并形成位于所述顶板与底板之间的传动空间；以及

搬运组件，其包括搬运托盘、搬运驱动器以及设于所述传动空间中的升降底座；

其中，所述底板上设有沿一直线方向延伸的滑行导轨，所述升降底座通过所述滑行导轨与所述底板滑动连接；所述顶板上沿着滑行导轨的延伸方向依次设置的备料工位及上下料工位；所述升降底座的动力输出端穿过所述顶板后连接至所述搬运托盘的底部；所述升降底座在所述搬运驱动器的驱动下牵引着所述搬运托盘在所述备料工位及上下料工位之间往复滑移。

可选的，所述顶板上设有位于所述备料工位处的备料定位台，所述备料定位台上开设有贯穿其上下表面的顶升通孔，所述顶升通孔连通地开设有朝向所述上下料工位的进出敞口，所述搬运托盘在往复滑移的过程中通过所述进出敞口往复进出所述顶升通孔。

可选的，所述备料定位台上远离所述进出敞口的一端设有两个相对设置的限位卡座。

可选的，所述限位卡座的外侧边缘一体式地形式有两片竖直向上延伸并且相互垂直设置的限位拦板。

可选的，所述备料定位台的顶面设有至少三个围绕所述顶升通孔布置的定位端子。

可选的，所述顶板上设有位于所述上下料工位处的两组上下料定位台，两组所述上下料定位台关于所述搬运托盘的运动路径对称设置。

上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于其能够独立进行上料及下料作业，使得上料过程及下料过程能够独立进行，避免了相互干扰导致的上料及下料效率低下。

上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于其在备料工位处设置有能够对料箱进行定位的备料定位台，从而使得在备料工位处进行上料备料或下料等待时可同时对料箱进行定位，提高了定位精度及效率，节省了上下料时间。

附图说明