[实用新型]一种TFT防静电结构有效

专利信息
申请号: 202023314429.8 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN213483746U 公开(公告)日: 2021-06-18
发明(设计)人: 王欢;韦培海;张泽鹏;马亮 申请(专利权)人: 信利(仁寿)高端显示科技有限公司
主分类号: H01L23/60 分类号: H01L23/60;H01L23/50;H01L27/12
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 廖苑滨
地址: 620500 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 tft 静电 结构
【说明书】:

实用新型公开了一种TFT防静电结构,包括基板以及形成于基板上的TFT膜层、VCOM电极、栅极走线,所述VCOM电极、栅极走线单独与所述TFT膜层电性连接,所述栅极走线还引出有过渡走线,栅极走线通过所述过渡走线直接与VCOM电极连接;所述TFT膜层为包括至少三层金属的多层膜,所述过渡走线为匹配TFT膜层的多层次可蚀刻走线;区别于传统TFT膜层制程完成后才可以实现静电释放的结构,以上结构在TFT膜层的最后一层金属层制程完成前,栅极走线通过过渡走线与VCOM电极电性导通,使得产品在制作过程中即可分散、释放静电,达到保护面板,提升良品率的目的;TFT膜层的最后一层金属层制程完成后,所述过渡走线经蚀刻断路,保证产品的正常使用。

技术领域

本实用新型涉及显示模组防静电结构领域,尤其涉及一种TFT防静电结构。

背景技术

在TFT产品制造的过程中,各个环节都会产生一些静电,如不能很好的释放及消除静电,会对产品造成一定的损坏,严重影响产品的可靠性;为了解决静电问题,我们常对TFT产品进行一些防静电设计,例如ESD环等,ESD环结构可在TFT产品制程完成后达到释放静电的效果,有效保护TFT面板,但在TFT产品在制程中,由于TFT膜层尚未铺设完成,VCOM电极、TFT膜层、栅极走线无法形成释放静电的通路,使用传统的除静电结构无法有效释放和消除TFT产品在制造过程中产生的静电,使得制造过程中的TFT无法得到有效保护,产品可靠性也无法得到保证。

实用新型内容

为解决上述传统TFT产品防静电结构设计无法释放产品制造过程中产生的静电,无法使产品得到有效保护的问题,本实用新型提出了一种TFT防静电结构,通过设置过渡走线将TFT产品在制造的过程中的VCOM电极、G-走线直接电性导通,达到消除产品制程中静电的效果,具体通过如下结构实现。

一种TFT防静电结构,包括基板以及形成于基板上的TFT膜层、VCOM电极、栅极走线,所述VCOM电极、栅极走线单独与所述TFT膜层电性连接。

所述栅极走线还引出有过渡走线,栅极走线通过所述过渡走线直接与VCOM电极连接;

所述TFT膜层为包括至少三层金属的多层膜,所述过渡走线为匹配TFT膜层的多层次可蚀刻走线,所述TFT膜层的最后一层金属层制程完成前,栅极走线通过所述过渡走线与VCOM电极电性导通,实现制程中静电的释放;所述TFT膜层的最后一层金属层制程完成后,所述过渡走线经蚀刻断路,栅极走线通过TFT膜层与VCOM电极电性导通,保证产品的正常使用。

作为本实用新型提供的一种TFT防静电结构的一种实施方式,所述栅极走线、过渡走线与所述TFT膜层同步逐层铺设、蚀刻,制程简便,无需增设工序。

作为本实用新型提供的一种TFT防静电结构的一种实施方式,所述TFT膜层还包括与所述金属层交替层叠设置的绝缘层,其第一金属层形成于所述基板上,所述绝缘层设置于相邻金属层之间以及最后一层金属层之上。

作为本实用新型提供的一种TFT防静电结构的一种实施方式,所述过渡走线的多层次结构中,其第一金属层形成于基板上,其绝缘层设置于相邻金属层之间,以及覆于过渡走线的最上层。

作为本实用新型提供的一种TFT防静电结构的一种实施方式,所述过渡走线的第一绝缘层设置有过孔,其第一金属层与第二金属层通过所述过孔电性连接。

作为本实用新型提供的一种TFT防静电结构的一种实施方式,所述过渡走线的多层结构中,除第一绝缘层外的绝缘层均设置有蚀刻过孔,所述TFT膜层的最后一层金属层制程完成后,通过所述蚀刻过孔刻断除第一金属层以外的其它金属层。

作为本实用新型提供的一种TFT防静电结构的一种实施方式,所述过渡走线的多层结构中,除第一金属层以外,其余金属层的均为同种材质,更加便于TFT最后一金属层制程完毕后过渡走线的刻断。

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