[实用新型]一种钝化设备有效
申请号: | 202023308241.2 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN214254439U | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
发明(设计)人: | 林佳继;庞爱锁;刘群;林依婷 | 申请(专利权)人: | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人: | 董世博 |
地址: | 518118 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 钝化 设备 | ||
1.一种钝化设备,其特征在于:包括隔离箱和钝化箱,钝化箱位于隔离箱内部,钝化箱内包括载具装置、喷淋装置以及加热装置,喷淋装置位于载具装置和加热装置之间,喷淋装置喷淋氧气或钝化气体,喷淋装置喷淋钝化气体与切片电池的断面接触。
2.根据权利要求1所述的一种钝化设备,其特征在于:所述隔离箱包括隔离主体和隔离盖板,隔离主体包括隔离腔,钝化箱位于隔离腔内,隔离主体的上端面设置有密封圈,隔离主体上设置有通气管和热电偶,通气管与隔离腔连通,通气管通入氮气或压缩空气吹扫隔离腔,热电偶延伸至钝化箱内,测量钝化箱内的温度。
3.根据权利要求2所述的一种钝化设备,其特征在于:所述钝化箱内包括装载结构,装载结构承载载具装置、喷淋装置以及加热装置,装载结构还包括装载底板、装载连板、载隔板以及两组装载侧板,两组装载侧板对称设置且与装载底板和装载连板固设连接,装载隔板与两组装载侧板固设连接,通过装载隔板,装载结构形成装载载具装置的载具腔以及装载加热装置的加热腔,装载隔板设有反应窗,装载连板连接有弥散件,弥散件上固设有多组弥散孔,装载连板上连通设置有进气管,进气管贯穿隔离主体并向外延伸,进气管向载具装置和载具腔通氮气,弥散件的弥散孔控制进气管通入氮气的弥散均匀性,装载侧板固设有避空位以及位于避空位两侧的调整槽,调整槽内设置有固定件,固定件将加热装置与装载结构固设,调节固定件在调整槽内的位置调整加热装置与装载隔板的距离。
4.根据权利要求3所述的一种钝化设备,其特征在于:所述喷淋装置包括导气管和喷淋管,导气管和喷淋管连通,导气管穿过加热装置和隔离主体并延伸至隔离箱外侧,喷淋管上固设有喷淋孔,氧气或钝化气体由导气管通入通过喷淋孔喷出,喷淋管将钝化气体喷淋到切片电池的断面,导气管在钝化反应后通入氮气,对钝化箱的内部进行吹扫。
5.根据权利要求2所述的一种钝化设备,其特征在于:还包括排气装置,排气装置包括排气管和抽气管,排气管上固设有排气孔,排气管和抽气管连通,抽气管穿过加热装置和隔离主体并延伸至隔离箱外侧,抽气管上设置有真空计,排气装置控制钝化箱内的气压,真空计对钝化箱内的气压进行检测,将钝化箱内的气压控制在设定的范围内。
6.根据权利要求4所述的一种钝化设备,其特征在于:所述加热装置包括壳体和加热管,加热管通过固定杆固定在壳体上,壳体的侧面固设有固定孔,固定件通过固定孔和调整槽将加热装置和装载结构固设连接,加热装置与载具装置通过反应窗连通,钝化气体通过反应窗流通至载具腔内对切片电池的断面进行钝化处理,热电偶延伸至加热腔内,且位于喷淋管和反应窗之间。
7.根据权利要求3所述的一种钝化设备,其特征在于:所述载具装置包括载具后板、载具左侧板、载具右侧板、载具底板以及载具上板,载具底板对切片电池进行支撑,切片电池的断面与反应窗相对,载具后板、载具左侧板以及载具右侧板安装在载具底板上,载具左侧板与载具右侧板对称分布,载具后板、载具左侧板、载具右侧板以及载具底板形成承载切片电池的承载腔,切片电池放置在承载腔内,载具上板和载具底板限制切片电池在竖直方向的移动,载具左侧板和载具右侧板限制切片电池在水平方向移动。
8.根据权利要求6所述的一种钝化设备,其特征在于:还包括紫外灯管,紫外灯管固设于加热装置的壳体上,加热管位于紫外灯管和载具装置之间,紫外灯管与加热管间通过隔热灯罩进行隔离,喷淋装置喷淋通入氧气,通过紫外灯管的紫外线生成臭氧,生成的臭氧通过反应窗与切片电池的断面接触进行钝化处理。
9.根据权利要求1所述的一种钝化设备,其特征在于:所述喷淋装置的导气管通入臭氧,紫外灯管产生臭氧,结合两者形成钝化气体对切片电池进行钝化处理。
10.根据权利要求7所述的一种钝化设备,其特征在于:所述载具后板的两侧对称固设有第一定位腔,载具底板的两侧固设有第二定位腔,位于同一侧的第一定位腔和第二定位腔位置相对,且两者的宽度一致,使载具左侧板以及载具右侧板在移动时保证水平方向以及竖直方向的同步定位,任意一组或两组的第一定位腔上固设有侧板压块,侧板压块将载具左侧板或/和载具右侧板进行固定,位于左侧的第二定位腔固设有限位槽,载具左侧板上固设有与限位槽配合的限位块,限位块在限位槽内滑动调整载具左侧板在第二定位腔内的位置,载具左侧板通过定位块进行固定,定位块包括定位杆和定位板,定位板上固设有移槽,定位板由两组厚度不同的平板构成,分别设为平板一和平板二,平板一厚度小于平板二厚度,载具左侧板上固设有定位槽,定位槽与平板一相配,平板一插入定位槽内进行固定,平板二端面与载具左侧板相抵,平板二下端面与第二定位腔端面相抵,定位杆依次插入移槽和限位槽旋紧将载具左侧板固定在第二定位腔内,通过定位块调整载具左侧板在第二定位腔内的位置,载具右侧板相对于右侧的第二定位腔固定或移动,便于切片电池的装卸以及不同尺寸切片电池的放置,载具上板固设有提手,便于载具上板的拿取,载具上板两端分别固设有凸起的扣块,载具左侧板或/和载具右侧板上固设有扣腔,扣腔与扣块相配,扣块插入扣腔内限制载具上板在竖直方向的位置,载具左侧板和载具右侧板分别设有压块,两组压块将载具上板固定,载具后板与弥散件相抵,载具后板上设有通气腔,载具后板与弥散件相抵的侧面固设有密封圈,密封圈将载具右侧板和弥散件密封连接,紫外灯管与加热管间隔分布,加热管采用红外灯管或电炉丝,加热管的长度方向沿水平分布,加热管设置为三组,三组加热管彼此平行,载具腔下端面固设有多组载具限位柱,载具限位柱环形分布,载具限位柱对载具装置的安装进行定位,限制载具装置的横向移动,载具限位柱采用圆锥型结构,便于载具限位柱导入载具装置;通过喷淋装置和排气装置的移动,调节两者与反应窗之间的间距,调整与切片电池断面接触的臭氧气流。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的