[实用新型]承载装置及检测设备

说明书

本实用新型公开了一种承载装置及检测设备，所述承载装置包括基板、吸附组件以及多个连接组件，所述连接组件设于所述基板与吸附组件之间，以支撑所述吸附组件；所述吸附组件包括支撑板和设于所述支撑板四周的吸附部件，所述支撑板的承载面设有以矩阵形式分布的支撑件，所述吸附部件的吸附面和所述支撑件的支撑面高于所述支撑板的承载面且位于同一平面；各所述连接组件分别包括连接于所述基板的连接杆和连接于所述支撑板的连接件，所述连接杆与连接件通过能够调节高度的调节机构相连接。该承载装置在用于对OLED面板等承载物进行支撑和固定时，通过装调可保证OLED面板等承载物的整体平面度。

技术领域

本实用新型涉及检测设备技术领域，尤其涉及检测设备的承载装置。本实用新型还涉及设有所述承载装置的检测设备。

背景技术

目前，在OLED面板检测行业中，对于OLED面板的检测设备来讲，其在OLED面板检测过程中，大部分采用的运动形式是OLED面板运动，而探头不动的形式，这样就需要对面板进行支撑和固定。

由于探头的景深比较小，基本在几十微米左右，这样就要求OLED面板的运动平面度和支撑平面度均比探头的景深小，在几十微米以内，对于运动平台的运动平面度甚至要求在10微米以内，而支撑平面度也需要保证比景深小，有的甚至达到20um左右。

由于OLED面板的尺寸较大，这样就需要一个高精度平台对OLED面板进行支撑和固定。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种承载装置。该承载装置在用于对OLED面板等承载物进行支撑和固定时，通过装调可保证OLED面板等承载物的整体平面度。

本实用新型的另一目的是提供一种设有所述承载装置的检测设备。

为实现上述目的，本实用新型提供一种承载装置，包括基板、吸附组件以及多个连接组件，所述连接组件设于所述基板与吸附组件之间，以支撑所述吸附组件；所述吸附组件包括支撑板和设于所述支撑板四周的吸附部件，所述支撑板的承载面设有以矩阵形式分布的支撑件，所述吸附部件的吸附面和所述支撑件的支撑面均位于同一平面且高于所述支撑板；各所述连接组件分别包括连接于所述基板的连接杆和连接于所述支撑板的连接件，所述连接杆与连接件通过能够调节高度的调节机构相连接。

优选地，所述连接杆与连接件通过能够调节高度的螺纹结构相连接。

优选地，所述连接杆与连接件之间设有防松部件；所述螺纹结构包括形成在所述连接杆上的螺纹杆和形成在所述连接件上的螺纹孔，所述防松部件包括固定螺母和防松垫圈，所述固定螺母和防松垫圈安装于所述螺纹杆，所述固定螺母通过所述防松垫圈压紧所述连接件。

优选地，所述吸附组件的支撑板包括多块相互拼接的分体支撑板，各所述分体支撑板分别由所述连接组件在所述分体支撑板靠近所述基板的一侧表面的边缘位置进行支撑。

优选地，所述吸附部件包括吸附条，所述支撑板的每一边设有至少一个所述吸附条，且每一边的所述吸附条的真空气路保持独立。

优选地，各所述吸附条分别具有至少两个在长度方向上间隔设置的吸附槽。

优选地，各所述吸附条分别通过多个固定点固定在所述支撑板的侧面，所述固定点包括设于所述支撑板侧面的固定孔和用于将所述吸附条固定于所述支撑板的螺钉。

优选地，所述支撑件通过螺纹安装于所述支撑板的承载面，所述支撑板的承载面设有对应于所述支撑件的沉头孔，所述沉头孔内设有位于所述支撑板与支撑件之间的弹簧。

优选地，所述支撑件由下至上包括螺纹部、弹簧套装部、旋拧操作部和支撑头，所述支撑头呈上小下大的圆锥形，其顶端形成与待承载物相接触的支撑面。

优选地，所述支撑板的材料为铝合金，其具有进行黑色阳极氧化处理的承载面；和/或，所述支撑件的材料为防静电的PEEK材料。