[实用新型]承载装置及检测设备

权利要求书

1.承载装置，其特征在于，包括基板(1)、多个连接组件(2)以及吸附组件(3)，所述连接组件(2)设于所述基板(1)与吸附组件(3)之间，以支撑所述吸附组件(3)；所述吸附组件(3)包括支撑板(301)和设于所述支撑板(301)四周的吸附部件，所述支撑板(301)的承载面设有以矩阵形式分布的支撑件(304)，所述吸附部件的吸附面和所述支撑件(304)的支撑面均位于同一平面且高于所述支撑板(301)；各所述连接组件(2)分别包括连接于所述基板(1)的连接杆(201)和连接于所述支撑板(301)的连接件(202)，所述连接杆(201)与连接件(202)通过能够调节高度的调节机构相连接。

2.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述连接杆(201)与连接件(202)通过能够调节高度的螺纹结构相连接。

3.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述连接杆(201)与连接件(202)之间设有防松部件；所述螺纹结构包括形成在所述连接杆(201)上的螺纹杆和形成在所述连接件(202)上的螺纹孔，所述防松部件包括固定螺母(203)和防松垫圈(204)，所述固定螺母(203)和防松垫圈(204)安装于所述螺纹杆，所述固定螺母(203)通过所述防松垫圈(204)压紧所述连接件(202)。

4.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述吸附组件(3)的支撑板(301)包括多块相互拼接的分体支撑板，各所述分体支撑板分别由所述连接组件(2)在所述分体支撑板靠近所述基板的一侧表面的边缘位置进行支撑。

5.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述吸附部件包括吸附条(302)，所述支撑板(301)的每一边设有至少一个所述吸附条(302)，且每一边的所述吸附条(302)的真空气路保持独立。

6.根据权利要求5所述的承载装置，其特征在于，各所述吸附条(302)分别具有至少两个在长度方向上间隔设置的吸附槽(303)。

7.根据权利要求6所述的承载装置，其特征在于，各所述吸附条(302)分别通过多个固定点固定在所述支撑板(301)的侧面，所述固定点包括设于所述支撑板(301)侧面的固定孔和用于将所述吸附条(302)固定于所述支撑板(301)的螺钉。

8.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述支撑件(304)通过螺纹安装于所述支撑板(301)的承载面，所述支撑板(301)的承载面设有对应于所述支撑件(304)的沉头孔，所述沉头孔内设有位于所述支撑板(301)与支撑件(304)之间的弹簧(305)。

9.根据权利要求8所述的承载装置，其特征在于，所述支撑件(304)由下至上包括螺纹杆(3041)、弹簧套装部(3042)、旋拧操作部(3043)和支撑头(3044)，所述支撑头(3044)呈上小下大的圆锥形，其顶端形成与承载物相接触的支撑面。

10.根据权利要求1至9中任意一项所述的承载装置，其特征在于，所述支撑板(301)的材料为铝合金，其具有进行黑色阳极氧化处理的承载面；和/或，所述支撑件(304)的材料为防静电的PEEK材料。

11.检测设备，其特征在于，包括：

如上述权利要求1至10中任意一项所述的承载装置，用于承载待检测部件；

检测系统，用于对所述承载装置承载的待检测部件进行检测；

取放装置，用于在检测前将待检测部件放置于所述承载装置，并在检测后从所述承载装置取走待检测部件。