[实用新型]一种气体置换控制系统

说明书

本实用新型涉及气体控制技术领域，公开了一种气体置换控制系统，包括钢瓶及反应炉，所述钢瓶通过第一连接管路与所述反应炉连接，所述第一连接管路上设置有第一手动阀；还包括电动三通阀。当所述电动三通阀处于第一工作状态时，所述第一气口与所述第二气口连通，所述第一气口与所述第三气口断开，以使第一连接管路内的气体依次沿所述第二连接管路及所述排气管路排出；当所述电动三通阀处于第二工作状态时，所述第一气口与所述第二气口断开，所述第一气口与所述第三气口连通，以使惰性气体依次沿所述进气管路及所述第二连接管路进入所述第一连接管路内。

技术领域

本实用新型涉及气体控制技术领域，特别是涉及一种气体置换控制系统。

背景技术

目前，无机膜薄材料可以根据CVD法(化学气相沉积法)，利用硒化锌或硫化锌等气相化合物进行化学反应制得。因此，采用钢瓶等容器储存硒化锌或硫化锌等气相化合物，钢瓶通过连接管路通入反应炉进行化学反应。由于制作各种无机薄膜所需要的原料是不相同，因此在向反应炉通入新的反应气体前，需要先将连接管路内原有的反应气体排出，目前常用的操作是向连接管路通入惰性气体(如氩气)来完成气体置换的目的。

传统的气体置换方式为：采用一根进气管路和一根排气管路分别连通连接管路，进气管路和排气管路上均设置有手动阀门，通过分别控制进气管路和排气管路的手动阀门，充气时，惰性气体通过进气管路向连接管路内通入惰性气体，一段时间后，将连接管路内的氩气及原有的反应气体通过排气管路排出，重复多次操作即可将完全排除连接管路内原有的反应气体。因此，上述气体置换操作需要人工现场作业，故存在以下缺点：

(1)各种开关或手动阀门的数量较多，操作过程容易混淆，容易引起事故的发生。

(2)人工难以精准控制手动阀门的拧开量，难以控制进气管或排内的气压，容易导致进气或排气不彻底。

(3)硒化锌或硫化锌等属于有毒气体，当发生毒气体泄漏时，对操作员会存在较大的安全隐患；

(4)长时间手动拧动阀门会对阀门造成较大的磨损，需要定期维护或更换，导致维修成本较大。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种气体置换控制系统，操作简便，可避免人工现场操作，提高使用安全性，以及降低用人成本。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种气体置换控制系统，包括钢瓶及反应炉，所述钢瓶通过第一连接管路与所述反应炉连接，所述第一连接管路上设置有第一手动阀，还包括电动三通阀；

所述电动三通阀具有第一气口、第二气口及第三气口，所述第一气口通过第二连接管路与所述第一连接管路连接，且所述第二连接管上设有第二手动阀；所述第二气口连接有排气管路，且所述排气管路上设有真空发生器；所述第三气口连接有用于供惰性气体流入的进气管路；

当所述电动三通阀处于第一工作状态时，所述第一气口与所述第二气口连通，所述第一气口与所述第三气口断开，以使第一连接管路内的气体依次沿所述第二连接管路及所述排气管路排出；

当所述电动三通阀处于第二工作状态时，所述第一气口与所述第二气口断开，所述第一气口与所述第三气口连通，以使惰性气体依次沿所述进气管路及所述第二连接管路进入所述第一连接管路内。

进一步地，还包括多条第三连接管路，多条第三连接管路相互并联后与所述第一连接管路连接；

所述钢瓶的数量为多个，多个所述钢瓶分别与所述多条第三连接管路一一连接。

进一步地，所述第三连接管路上设有第三压力调节阀，该第三压力调节阀连接有第三电子报警器。

进一步地，所述钢瓶的底部设有用于检测所述钢瓶重量的电子秤。

进一步地，所述第一连接管路上设有第一压力调节阀，该第一压力调节阀连接有第一电子报警器。