[实用新型]一种气体置换控制系统有效
| 申请号: | 202023281421.6 | 申请日: | 2020-12-29 |
| 公开(公告)号: | CN214496472U | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
| 发明(设计)人: | 李发忠;于金凤;王和风 | 申请(专利权)人: | 安徽中飞科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52 |
| 代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 颜希文;黄诗彬 |
| 地址: | 239000 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 气体 置换 控制系统 | ||
1.一种气体置换控制系统,包括钢瓶及反应炉,所述钢瓶通过第一连接管路与所述反应炉连接,所述第一连接管路上设置有第一手动阀,其特征在于,还包括电动三通阀;
所述电动三通阀具有第一气口、第二气口及第三气口,所述第一气口通过第二连接管路与所述第一连接管路连接,且所述第二连接管上设有第二手动阀;所述第二气口连接有排气管路,且所述排气管路上设有真空发生器;所述第三气口连接有用于供惰性气体流入的进气管路;
当所述电动三通阀处于第一工作状态时,所述第一气口与所述第二气口连通,所述第一气口与所述第三气口断开,以使第一连接管路内的气体依次沿所述第二连接管路及所述排气管路排出;
当所述电动三通阀处于第二工作状态时,所述第一气口与所述第二气口断开,所述第一气口与所述第三气口连通,以使惰性气体依次沿所述进气管路及所述第二连接管路进入所述第一连接管路内。
2.如权利要求1所述的气体置换控制系统,其特征在于,还包括多条第三连接管路,多条第三连接管路相互并联后与所述第一连接管路连接;
所述钢瓶的数量为多个,多个所述钢瓶分别与所述多条第三连接管路一一连接。
3.如权利要求2所述的气体置换控制系统,其特征在于,所述第三连接管路上设有第三压力调节阀,该第三压力调节阀连接有第三电子报警器。
4.如权利要求1-3任一项所述的气体置换控制系统,其特征在于,所述钢瓶的底部设有用于检测所述钢瓶重量的电子秤。
5.如权利要求1所述的气体置换控制系统,其特征在于,所述第一连接管路上设有第一压力调节阀,该第一压力调节阀连接有第一电子报警器。
6.如权利要求1所述的气体置换控制系统,其特征在于,所述排气管路上设有第二压力调节阀。
7.如权利要求1所述的气体置换控制系统,其特征在于,所述第一连接管路上设有第一单向阀。
8.如权利要求1所述的气体置换控制系统,其特征在于,所述排气管路上设有第二单向阀。
9.如权利要求1所述的气体置换控制系统,其特征在于,所述进气管路上设有第三单向阀。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





