[实用新型]一种适用于大尺寸硅片的传输装置

权利要求书

1.一种适用于大尺寸硅片的传输装置，其特征在于，包括：

传送装置、定位装置，皮带；

其中，所述传送装置的两端设有所述定位装置，所述定位装置将所述皮带横向固定在所述传送装置上，所述皮带承载大尺寸硅片，所述传送装置匀速传输，带动所述承载大尺寸硅片的皮带运动。

2.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的传输装置，其特征在于，所述传送装置包括传送驱动机构和传送架，所述传送驱动机构驱动所述传送架匀速运动，所述传送架的两端设有所述定位装置，所述定位装置与所述传送架可拆卸连接。

3.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的传输装置，其特征在于，所述皮带设有多根，所述多根皮带的中心部位均设有真空吸孔，所述真空吸孔紧密吸附所述大尺寸硅片贴紧在所述皮带上。

4.根据权利要求3所述的一种适用于大尺寸硅片的传输装置，其特征在于，位于所述真空吸孔的下方设有真空泵，所述真空泵抽净空气，为所述真空吸孔提供吸附力。

5.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的传输装置，其特征在于，每相邻所述皮带之间设有相等的间距，所述间距的大小不超过被承载的所述大尺寸硅片的尺寸。

6.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的传输装置，其特征在于，所述皮带的两端设有卡块，所述卡块将所述大尺寸硅片卡紧在所述皮带上。

7.根据权利要求2所述的一种适用于大尺寸硅片的传输装置，其特征在于，所述传送架的两端设有通孔，穿过所述通孔设有锁紧件，所述锁紧件锁紧所述传送架与所述定位装置。

8.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的传输装置，其特征在于，还包括清扫装置，所述清扫装置包括驱动装置和清扫件，所述清扫件是一毛刷，所述驱动装置驱动所述毛刷对皮带进行清扫操作。