[实用新型]一种激光雷达及其激光器

说明书

本申请公开了一种激光雷达及其激光器。激光器包括衬底和设置于衬底上的外延结构和保护层，其中保护层覆盖于外延结构上，以用于屏蔽外延结构工作时产生的自发辐射。通过在外延结构的非出光侧设置保护层，以屏蔽外延结构工作时非出光侧所产生的自发辐射，本申请提供的激光器能够屏蔽非出光侧所产生的自发辐射，进而可消除因自发辐射在激光雷达中引起的噪音信号。

技术领域

本申请涉及半导体激光器技术领域，特别是涉及一种激光雷达及其激光器。

背景技术

半导体激光器可运用于激光传感、激光通信、激光医疗、工业加工、激光显示和航空国防等领域；特别是以其为核心传感器之一的激光雷达Lidar，因激光雷达因远近距离的三维测试精度高、方向性好、抗干扰能力强、成本低、易集成等优点而在智能家居(扫地/伺服机器人)和智能驾驶领域得到广泛应用；

激光雷达使用激光作为信号光源，通过向目标对象发射激光，采集从目标对象反射的信号并与发射信号进行比较得到目标对象的方位、速度等信息。一般高度集成的激光雷达上信号光源(半导体激光器)和回波信号的探测器靠的比较近，因此半导体激光器自发辐射的光信号容易耦合到探测器中，这极大的影响了激光雷达的信噪比，而信噪比是定量描述激光雷达系统性能的重要指标。

实用新型内容

本申请主要提供一种激光雷达及其激光器，以解决激光雷达中的激光器自发辐射的光信号影响激光雷达的信噪比的问题。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种激光器。所述激光器包括衬底和设置于所述衬底上的外延结构和保护层，其中所述保护层覆盖于外延结构上，以用于屏蔽所述外延结构工作时产生的自发辐射。

在一具体实施例中，所述保护层覆盖于所述外延结构背离所述衬底的顶面和与所述顶面相邻的侧面。

在一具体实施例中，所述保护层为金属保护层。

在一具体实施例中，所述金属保护层的材质为金、银、钌、铑、钯、锇、铱或铂。

在一具体实施例中，所述激光器还包括设置于所述外延结构上的绝缘层和电极层，所述绝缘层、所述电极层和所述保护层依次设置于所述外延结构上，所述绝缘层上开设有电流注入窗口，所述电极层通过所述电流注入窗口与所述外延结构电接触。

在一具体实施例中，所述外延结构包括呈层叠设置的缓冲层、有源区结构和欧姆接触层，所述绝缘层覆盖所述缓冲层、所述有源区结构和所述欧姆接触层，所述电极层通过所述电流注入窗口与所述欧姆接触层电接触。

在一具体实施例中，所述有源区结构包括层叠设置的多个有源区和设置于所述有源区之间的隧道结。

在一具体实施例中，所述有源区包括依次层叠设置的P型包覆层、P型波导层、第一量子阱层、势垒层、第二量子阱层、N型波导层以及N型包覆层。

在一具体实施例中，所述衬底上设置有多个所述外延结构，相邻的所述外延结构之间设置有沟槽，每一所述外延结构上均设有对应的所述绝缘层和所述电极层，所述保护层能够导电，且所述保护层覆盖多个所述电极层及所述沟槽。

为解决上述技术问题，本申请采用的另一个技术方案是：提供一种激光雷达。所述激光雷达包括探测器和如上述的激光器，所述激光器用于向目标发射激光，所述探测器用于采集经所述目标反射回的信号。

本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请公开了一种激光雷达及其激光器。通过在外延结构的非出光侧设置保护层，以屏蔽外延结构工作时非出光侧所产生的自发辐射，进而可消除因自发辐射在激光雷达中引起的噪音信号，可有效增加激光雷达的有效探测范围以及探测精度。

附图说明