[实用新型]一种激光雷达及其激光器有效
| 申请号: | 202023258365.4 | 申请日: | 2020-12-29 |
| 公开(公告)号: | CN214673446U | 公开(公告)日: | 2021-11-09 |
| 发明(设计)人: | 胡海;邱于珍 | 申请(专利权)人: | 深圳瑞波光电子有限公司 |
| 主分类号: | H01S5/028 | 分类号: | H01S5/028;G01S7/481 |
| 代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 黎坚怡 |
| 地址: | 518052 广东省深圳市南山区西丽*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 激光雷达 及其 激光器 | ||
1.一种激光器,其特征在于,所述激光器包括衬底和设置于所述衬底上的外延结构和保护层,其中所述保护层覆盖于所述外延结构的非出光侧,以用于屏蔽所述外延结构工作时所述非出光侧产生的自发辐射。
2.根据权利要求1所述的激光器,其特征在于,所述保护层覆盖于所述外延结构背离所述衬底的顶面和与所述顶面相邻的侧面。
3.根据权利要求1所述的激光器,其特征在于,所述保护层为金属保护层。
4.根据权利要求3所述的激光器,其特征在于,所述金属保护层的材质为金、银、钌、铑、钯、锇、铱或铂。
5.根据权利要求1所述的激光器,其特征在于,所述激光器还包括设置于所述外延结构上的绝缘层和电极层,所述绝缘层、所述电极层和所述保护层依次设置于所述外延结构上,所述绝缘层上开设有电流注入窗口,所述电极层通过所述电流注入窗口与所述外延结构电接触。
6.根据权利要求5所述的激光器,其特征在于,所述外延结构包括呈层叠设置的缓冲层、有源区结构和欧姆接触层,所述绝缘层覆盖所述缓冲层、所述有源区结构和所述欧姆接触层,所述电极层通过所述电流注入窗口与所述欧姆接触层电接触。
7.根据权利要求6所述的激光器,其特征在于,所述有源区结构包括层叠设置的多个有源区和设置于所述有源区之间的隧道结。
8.根据权利要求7所述的激光器,其特征在于,所述有源区包括依次层叠设置的P型包覆层、P型波导层、第一量子阱层、势垒层、第二量子阱层、N型波导层以及N型包覆层。
9.根据权利要求5所述的激光器,其特征在于,所述衬底上设置有多个所述外延结构,相邻的所述外延结构之间设置有沟槽,每一所述外延结构上均设有对应的所述绝缘层和所述电极层,所述保护层能够导电,且所述保护层覆盖多个所述电极层及所述沟槽。
10.一种激光雷达,其特征在于,所述激光雷达包括探测器和如权利要求1至9所述的激光器,所述激光器用于向目标发射激光,所述探测器用于采集经所述目标反射回的信号。
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