[实用新型]一种常压化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种常压化学气相沉积设备，其特征在于，包括进气箱、扩散头、加热体组件、横臂、转台、机械手、装料运载平台、晶圆料车、风机过滤机组和真空系统；所述风机过滤机组设置于所述装料运载平台上方；所述机械手设置于所述装料运载平台与所述转台之间；所述横臂可滑动的设置于所述转台远离所述机械手的一侧，所述加热体设置于所述横臂上方；所述扩散头设置于所述加热体组件正下方，所述进气箱与所述扩散头相连通；所述进气箱还与加热体组件相连通；所述真空系统用于为所述机械手和所述加热体组件提供真空环境。

2.根据权利要求1所述的常压化学气相沉积设备，其特征在于，所述机械手包括吸盘夹具，所述吸盘夹具用于在所述装料运载平台与所述转台之间传送晶圆。

3.根据权利要求1所述的常压化学气相沉积设备，其特征在于，所述转台包括对称设置的两个托板，所述两个托板绕所述转台的中间轴转动。

4.根据权利要求3所述的常压化学气相沉积设备，其特征在于，所述转台靠近所述加热体一侧的所述托板底部设置有一晶圆料车，所述晶圆料车用于举升所述托板上的晶圆。

5.根据权利要求1所述的常压化学气相沉积设备，其特征在于，所述加热体组件底部设置有一吸附口，所述吸附口与所述真空系统相连通，所述吸附口与进气箱相连通。

6.根据权利要求5所述的常压化学气相沉积设备，其特征在于，所述吸附口处设置有一非金属垫圈。

7.根据权利要求1所述的常压化学气相沉积设备，其特征在于，所述扩散头连通有冷却水管路。

8.根据权利要求1所述的常压化学气相沉积设备，其特征在于，所述装料运载平台上设置有多个料盒。

9.根据权利要求1所述的常压化学气相沉积设备，其特征在于，所述加热体组件的加热范围为室温至1300℃。