[实用新型]一种蒸镀坩埚

说明书

本实用新型公开了一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体、坩埚上盖和多个坩埚喷嘴，所述坩埚上盖位于所述坩埚本体的边缘上方，多个所述坩埚喷嘴均匀分布于所述坩埚上盖上；所述坩埚上盖与所述坩埚本体为可拆卸连接；所述坩埚本体的底部为弧形。本实用新型通过将坩埚本体的底部设计为弧形，利用弧形具有更大的受热面积及无死角的特点，有效改善有机材料蒸镀的均匀性以及坩埚清洗不洁净的问题。

技术领域

本实用新型涉及AMOLED真空蒸镀制备工艺领域，特别涉及一种蒸镀坩埚。

背景技术

AMOLED(Active-matrix organic light-emitting diode，有源矩阵有机发光二极体或主动矩阵有机发光二极体)为目前主动式发光的主流技术，其目前的量产技术主要采用热蒸镀的方式制备AMOLED器件，即利用外置加热装置对坩埚进行加热，使材料升温达到熔融状态或者生化状态后，产生有机蒸汽进行蒸镀制程。目前量产工厂大部分都采用linear source(线形蒸镀源)进行蒸镀，其优点在于单次填装量较Point source(点状蒸镀源)多，另其有机材料利用率较Point source也要高。

目前的linear source均采用长方体结构进行制作，此种结构可以较大的利用空间，扩大单次填充量，但其缺点在于在受热方面存在不均匀现象，外置加热元最多只能对坩埚下半部的三面进行加热，因材料填充时存在材料分布不均匀的现象，而linear source长度通常很长，这样就会使其镀率会有不均匀的现象。另因为linear source长方体的结构，在底部和侧面交界部分为直角，当有机材料全部蒸镀完毕后，会有部分有机材料堆积在角落，在进行坩埚清洗的时候不易彻底清洗干净，有造成有机材料混料的风险，影响AMOLED产品良率，污染蒸镀腔体。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种蒸镀坩埚，改善蒸镀均匀性及坩埚清洗不洁净的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：

一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体、坩埚上盖和多个坩埚喷嘴，所述坩埚上盖位于所述坩埚本体的边缘上方，多个所述坩埚喷嘴均匀分布于所述坩埚上盖上；

所述坩埚上盖与所述坩埚本体为可拆卸连接；

所述坩埚本体的底部为弧形。

进一步地，所述弧形的弧度为大于180°。

进一步地，所述坩埚上盖与所述坩埚本体通过螺丝锁紧连接。

进一步地，所述坩埚喷嘴在所述坩埚上盖上呈一条直线均匀分布。

进一步地，所述坩埚喷嘴在所述坩埚上盖上从中间分别向两侧倾斜设置且关于中间轴对称。

进一步地，所述坩埚喷嘴与所述中间轴之间的角度为[0°,45°]。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型提供一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体、坩埚上盖和多个坩埚喷嘴，通过将坩埚本体的底部设计为弧形，利用弧形具有更大的受热面积及无死角的特点，有效改善有机材料蒸镀的均匀性以及坩埚清洗不洁净的问题。

附图说明

图1为一种蒸镀坩埚的正视图；

图2为一种蒸镀坩埚的侧视图。

标号说明：

1、坩埚本体；2、坩埚上盖；3、坩埚喷嘴。

具体实施方式

为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。

请参照图1，一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体、坩埚上盖和多个坩埚喷嘴，所述坩埚上盖位于所述坩埚本体的边缘上方，多个所述坩埚喷嘴均匀分布于所述坩埚上盖上；