[实用新型]一种蒸镀坩埚有效
| 申请号: | 202023194371.8 | 申请日: | 2020-12-25 |
| 公开(公告)号: | CN215481224U | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
| 发明(设计)人: | 罗云鹏 | 申请(专利权)人: | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司: | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人: | 柯玉珊 |
| 地址: | 351100 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 坩埚 | ||
1.一种蒸镀坩埚,其特征在于,包括坩埚本体、坩埚上盖和多个坩埚喷嘴,所述坩埚上盖位于所述坩埚本体的边缘上方,多个所述坩埚喷嘴均匀分布于所述坩埚上盖上;
所述坩埚上盖与所述坩埚本体为可拆卸连接;
所述坩埚本体的底部为弧形;
所述弧形的弧度为大于180°。
2.根据权利要求1所述的一种蒸镀坩埚,其特征在于,所述坩埚上盖与所述坩埚本体通过螺丝锁紧连接。
3.根据权利要求1所述的一种蒸镀坩埚,其特征在于,所述坩埚喷嘴在所述坩埚上盖上呈一条直线均匀分布。
4.根据权利要求3所述的一种蒸镀坩埚,其特征在于,所述坩埚喷嘴在所述坩埚上盖上从中间分别向两侧倾斜设置且关于中间轴对称。
5.根据权利要求4所述的一种蒸镀坩埚,其特征在于,所述坩埚喷嘴与所述中间轴之间的角度为[0°,45°]。
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