[实用新型]同时生产多尺寸多晶硅和多种类硅基气体的系统

权利要求书

1.同时生产多尺寸多晶硅和多种类硅基气体的系统，其特征在于：包括多晶硅还原炉、流化床反应器、粉末多晶硅收集装置、第一换热器、第二换热器、第一精馏塔、第二精馏塔、第三精馏塔、第四精馏塔、第五精馏塔、第六精馏塔、第一分离塔、第一混合器、第二混合器及氯硅烷反应器；

多晶硅还原炉尾气管线和流化床反应器尾气管线合并后与粉末多晶硅收集装置进气管线连接；粉末多晶硅收集装置的出气管线分为两路，分别与第一换热器和第二换热器的管程入口连接；第一换热器和第二换热器管程出口管线合并后与第一精馏塔进料口连接；第一精馏塔的塔顶与第一分离塔进料口连接，第一精馏塔的塔釜与第二精馏塔进料口连接；第二精馏塔的塔顶与第三精馏塔进料口连接，第二精馏塔的塔釜与第四精馏塔进料口连接；第四精馏塔的塔顶与第五精馏塔进料口连接，第四精馏塔的塔釜与第六精馏塔进料口连接；第六精馏塔的塔顶与氯硅烷反应器连接；第五精馏塔塔顶与第一换热器的壳程进口连接；第三精馏塔的塔釜出口管线与第二换热器的壳程进口连接；第一分离塔的塔顶出口管线分为两路，其中一路与第一混合器的进口连接，另外一路与第二混合器的进口连接；第一换热器壳程出口通过管线与第一混合器的进口连接，第二换热器壳程出口通过管线与第二混合器的进口连接；第一混合器壳程出口通过管线与多晶硅还原炉进料口连接，第二混合器的壳程出口通过管线与流化床反应器进料口连接。

2.根据权利要求1所述的同时生产多尺寸多晶硅和多种类硅基气体的系统，其特征在于：在所述多晶硅还原炉内，设置有硅芯；所述硅芯持续生长成为多晶硅棒。

3.根据权利要求2所述的同时生产多尺寸多晶硅和多种类硅基气体的系统，其特征在于：所述硅芯持续生长成为多晶硅棒的直径为120-150mm、高为2600-3000mm。

4.根据权利要求1所述的同时生产多尺寸多晶硅和多种类硅基气体的系统，其特征在于：所述系统还包括破碎装置，所述破碎装置用于对所述多晶硅棒进行破碎处理，得到尺寸为几厘米至几十厘米尺寸的块状多晶硅。

5.根据权利要求4所述的同时生产多尺寸多晶硅和多种类硅基气体的系统，其特征在于：在所述流化床反应器内，设置有硅籽晶；所述硅籽晶持续生长为颗粒硅。

6.根据权利要求5所述的同时生产多尺寸多晶硅和多种类硅基气体的系统，其特征在于：所述颗粒硅为几微米尺寸的颗粒多晶硅。

7.根据权利要求1所述的同时生产多尺寸多晶硅和多种类硅基气体的系统，其特征在于：在所述粉末多晶硅收集装置内直接获得几十纳米至几百纳米尺寸的粉末多晶硅。

8.根据权利要求1所述的同时生产多尺寸多晶硅和多种类硅基气体的系统，其特征在于：从第三精馏塔的塔顶采出一氯硅烷，从第三精馏塔的塔釜采出二氯硅烷。

9.根据权利要求1所述的同时生产多尺寸多晶硅和多种类硅基气体的系统，其特征在于：从第五精馏塔的塔顶采出三氯硅烷，从第五精馏塔的塔釜采出四氯硅烷。

10.根据权利要求1所述的同时生产多尺寸多晶硅和多种类硅基气体的系统，其特征在于：从第六精馏塔的塔顶采出五氯乙硅烷，从第六精馏塔的塔釜采出六氯乙硅烷。