[实用新型]一种夹持装置

说明书

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种夹持装置。本实用新型提供的夹持装置包括夹持机构，夹持机构包括夹持组件和调节锁紧组件，夹持组件包括操作手柄、转接件和至少两个夹持件，转接件用于连接操作手柄和至少两个夹持件，夹持件的一端与转接件转动连接，其另一端用于拾取工件；调节锁紧组件，用于限制夹持件与转接件之间的最大张开角度，以适应不同尺寸不同形状的工件。两个夹持机构在转接件处转动连接，便于通过操作手柄调节两个夹持机构之间的张角，以夹持工件，作业中无需更换夹持装置，提高作业效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种夹持装置。

背景技术

大规模集成电路生产过程中，晶圆需要经过多道工序最终形成产品。在每一道工序中，大都需要转移晶圆。目前一般采用手动拾取转移或利用夹持装置夹持拾取，手动拾取容易造成较大面积的污染，影响晶圆后续工序；而目前的夹持装置仅适用特定尺寸的晶圆，无法适应不同尺寸晶圆的拾取，作业中需要来回更换夹持装置，影响作业效率。

因此，亟待需要一种夹持装置以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种夹持装置，能够适应不同尺寸工件的拾取，提高作业效率。

为实现上述目的，提供以下技术方案：

一种夹持装置，包括夹持机构，所述夹持机构包括：

夹持组件，包括操作手柄、转接件和至少两个夹持件，所述转接件用于连接所述操作手柄和至少两个所述夹持件，所述夹持件的一端与所述转接件转动连接，其另一端用于拾取工件；两个所述夹持机构在所述转接件处转动连接；

调节锁紧组件，用于限制所述夹持件与所述转接件之间的最大张开角度。

作为所述夹持装置的可选方案，所述调节锁紧组件包括调节杆、弹性件和锁紧件，所述调节杆固定在所述转接件上，所述夹持件与所述调节杆滑动连接；所述弹性件套设在所述调节杆上，且其一端与所述转接件相抵接，其另一端与所述夹持件的一侧相抵接；所述锁紧件能够固定在所述调节杆上并位于所述夹持件的另一侧，以对所述夹持件进行限位。

作为所述夹持装置的可选方案，所述调节杆上设置有外螺纹，所述锁紧件上设置有与所述外螺纹螺纹配合的螺纹孔。

作为所述夹持装置的可选方案，所述调节杆包括固定部和调节部，所述固定部与所述转接件固定连接，至少两个所述调节部与所述固定部固定连接，所述调节部与所述夹持件滑动连接，且所述弹性件套设在所述调节部上。

作为所述夹持装置的可选方案，所述调节部的数量为两个，两个所述调节部均连接有所述夹持件，每个所述夹持件均配备有所述弹性件。

作为所述夹持装置的可选方案，所述夹持件包括杆部和夹持部，所述杆部的一端与所述转接件转动连接，所述夹持部可拆卸地固定在所述杆部另一端上。

作为所述夹持装置的可选方案，所述夹持部在所述杆部上的安装位置可调。

作为所述夹持装置的可选方案，所述夹持部呈倒锥台状。

作为所述夹持装置的可选方案，所述夹持部为弧形，且所述夹持部的内侧设置有V形容纳槽。

作为所述夹持装置的可选方案，所述夹持部的材质为导电塑料。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供的夹持装置，包括夹持机构，夹持机构包括夹持组件和调节锁紧组件，夹持组件包括操作手柄、转接件和至少两个夹持件，转接件用于连接操作手柄和至少两个夹持件，夹持件的一端与转接件转动连接，其另一端用于拾取工件；调节锁紧组件，用于限制夹持件与转接件之间的最大张开角度，以适应不同尺寸不同形状的工件。两个夹持机构在转接件处转动连接，便于通过操作手柄调节两个夹持机构之间的张角，以夹持工件。