[实用新型]一种晶粒端面检验辅助装置有效
| 申请号: | 202023124106.2 | 申请日: | 2020-12-22 |
| 公开(公告)号: | CN214174125U | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
| 发明(设计)人: | 黎连佳;李晓明 | 申请(专利权)人: | 宁波元芯光电子科技有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/95 |
| 代理公司: | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人: | 张一平;林辉 |
| 地址: | 315100 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 晶粒 端面 检验 辅助 装置 | ||
1.一种晶粒端面检验辅助装置,包括载物台(6),其特征在于:所述辅助装置还包括横向平移机构(2)、旋转调整机构(4)和倾角调整机构(5);
所述旋转调整机构(4)包括固定座(41)和旋转座(42),所述固定座(41)与横向平移机构(2)的输出端连接而能在横向上直线移动,所述旋转座(42)能相对固定座(41)转动,所述旋转座(42)的旋转轴在纵向上延伸;
所述倾角调整机构(5)包括位于旋转座(42)上方的座体(51),所述载物台(6)设置在座体(51)顶面,所述座体(51)与旋转座(42)转动连接,所述座体(51)的旋转轴在横向上延伸。
2.根据权利要求1所述的晶粒端面检验辅助装置,其特征在于:所述辅助装置还包括底座(1),所述横向平移机构(2)包括设置在底座(1)上的步进电机(21)和由步进电机(21)驱动而绕自身轴线转动的丝杆(22),所述丝杆(22)在底座(1)上横向地延伸,所述丝杆(22)的一端与底座(1)转动连接,所述丝杆(22)的另一端则与步进电机(21)的输出轴直接或间接地,所述固定座(41)与丝杆(22)螺纹连接。
3.根据权利要求2所述的晶粒端面检验辅助装置,其特征在于:所述底座(1)下方设置有导轨(3),所述固定座(41)的底部由底座(1)上方向下延伸入导轨(3)内,从而由导轨(3)对旋转调整机构(4)的移动进行导向。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的晶粒端面检验辅助装置,其特征在于:所述固定座(41)的顶面向下凹陷形成有凹槽(411),所述旋转座(42)转动地置于凹槽(411)内,所述旋转座(42)和凹槽(411)均呈圆柱形。
5.根据权利要求4所述的晶粒端面检验辅助装置,其特征在于:所述旋转调整机构(4)还包括第一插销(44),所述固定座(41)的周壁上开设有插孔(412),所述插孔(412)贯穿固定座(41)的壁厚,所述第一插销(44)从固定座(41)外侧沿着插孔(412)插入,所述第一插销(44)位于固定座(41)内的端部能够与旋转座(42)的外周壁抵紧或松开,从而将固定座(41)和旋转座(42)锁定或解锁。
6.根据权利要求5所述的晶粒端面检验辅助装置,其特征在于:所述第一插销(44)和固定座(41)的插孔(412)之间螺纹连接。
7.根据权利要求1~3中任一项所述的晶粒端面检验辅助装置,其特征在于:所述旋转调整机构(4)还包括与旋转座(42)连接的第一连接座(43),所述倾角调整机构(5)还包括位于座体(51)下方的第二连接座(52)以及第二插销(53),所述第二连接座(52)包括两个从座体(51)的底面向下延伸的连接臂(521),所述第一连接座(43)的顶部插入到两个连接臂(521)之间,所述第二插销(53)依次穿过其中一个连接臂(521)、第一连接座(43)和另一个连接臂(521),所述第二插销(53)横向地延伸,所述第二连接座(52)能绕第二插销(53)转动。
8.根据权利要求7所述的晶粒端面检验辅助装置,其特征在于:每个连接臂(521)上开设有通槽(522),每个通槽(522)呈向下凸起的弧形,所述第二插销(53)能穿过通槽(522)而沿着通槽(522)滑动;所述第二插销(53)的头部位于其中一个连接臂(521)远离第一连接座(43)的外侧,所述第二插销(53)的尾部位于另一个连接臂(521)远离第一连接座(43)的外侧,所述第二插销(53)与第一连接座(43)固定;所述倾角调整机构(5)还包括端帽(54),所述端帽(54)套设在第二插销(53)的尾部,所述端帽(54)能够沿着第二插销(53)移动而与相应的连接臂(521)抵紧或松开,从而将第二连接座(52)和第二插销(53)锁定或解锁。
9.根据权利要求8所述的晶粒端面检验辅助装置,其特征在于:所述第二插销(53)和端帽(54)螺纹连接。
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